Entwicklung einer Dünnschichttechnologie zur Herstellung von gasempfindlichen Metallschichten für die Gassensorik - Neuartiger elektrochemischer Dünnschichtsensor zur Messung von Schadgasen

Description: Entwicklung einer Sputtertechnologie zur Herstellung aktiver Sensorschichten, Herstellung von Testmustern für elektrochemische NOx Dünnschichtsensoren, Entwicklung von Messverfahren zur Bewertung von Dünnschichten für elektrochemische Gassensoren.

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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Elektrochemie ? Sensor ? Elektrotechnik ? Messtechnik ? Stickoxide ? Bewertungsverfahren ? Messverfahren ? Schadstoffanalyse ? Schadstoff ? Dünnschichtsensoren ? Sputtertechnologien ?

Region: Saxony

Bounding boxes: 13.25° .. 13.25° x 51° .. 51°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen „Otto von Guericke“ (Finanzielle Förderung)
• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• EnviteC Wismar GmbH (Mitwirkung)
• Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Time ranges: 2000-11-01 - 2002-12-31

Status

Aktiv

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