Entwicklung einer Dünnschichttechnologie zur Herstellung von gasempfindlichen Metallschichten für die Gassensorik - Neuartiger elektrochemischer Dünnschichtsensor zur Messung von Schadgasen

Description: Entwicklung einer Sputtertechnologie zur Herstellung aktiver Sensorschichten, Herstellung von Testmustern für elektrochemische NOx Dünnschichtsensoren, Entwicklung von Messverfahren zur Bewertung von Dünnschichten für elektrochemische Gassensoren.

SupportProgram

Tags: Elektrochemie ? Sensor ? Elektrotechnik ? Messtechnik ? Stickoxide ? Bewertungsverfahren ? Messverfahren ? Schadstoffanalyse ? Schadstoff ? Dünnschichtsensoren ? Sputtertechnologien ?

Region: Sachsen

Bounding boxes: 11.87146257539018° .. 15.041815656442171° x 50.17153496476331° .. 51.68497371608658°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen „Otto von Guericke“ (Finanzielle Förderung)
• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• EnviteC Wismar GmbH (Mitwirkung)
• Technische Universität Dresden (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 24.04.2026 00:09

Time ranges: 2000-11-01 - 2002-12-31

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.47
• Findability: 0.55

  • Title: 1.00
  • Description: 0.00
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.82
  • Spatial: BoundingBox (0.50)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.