Plasmareinigung von Abgasen

Description: Das Projekt "Plasmareinigung von Abgasen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, Außenstelle Berlin. Es wird/wurde ausgeführt durch: Plasma Partner Mende und Partner, Diplom-Ingenieure.In der Halbleiterindustrie entstehen nach PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) schaedliche FCKW-haltige Abgase. Diese Abgase muessen, ehe sie in die Atmosphaere gelangen, gereinigt werden. Zur Zeit sind zwei unterschiedliche thermische Verfahren im Einsatz. Diese haben entweder einen schlechten Wirkungsgrad oder sind kritisch in der Anwendung. Mit der Plasmareinigung, insbesondere mit Mikrowellenanregung, entwickeln wir zur Zeit ein Verfahren, welches sich nach den bisher erzielten Ergebnissen als sehr effektiv und sicher in der Anwendung erweist.

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Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Plasmatechnik ? FCKW ? Berlin ? Industrieabgas ? Abgas ? Abgasreinigung ? Verfahrenstechnik ? Wirkungsgrad ? Luftschadstoff ? Thermisches Verfahren ? Reinigungsverfahren ? Halbleiterindustrie ? Mikrowellenanregung ?

Region: Sachsen-Anhalt

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, Außenstelle Berlin (Bereitsteller*in)
• GEWIPLAN (Mitwirkende)
• Plasma Partner Mende und Partner, Diplom-Ingenieure (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 1998-01-01 - 1999-12-31

Status

Aktiv

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