Description: Das Projekt "Innovative nasschemische Reinigung und Nanostrukturierung von Siliciumoberflächen - SiSTeC" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Bergakademie Freiberg, Institut für Anorganische Chemie.Im Zentrum des Projektes steht die Validierung der Anwendung von neuartigen chlorhaltigen Flusssäurelösungen im technischen und industriellen Maßstab für die Reinigung, Politur und Textur von Siliciumwafern. Mögliche Anwendungsfelder liegen insbesondere in der Photovoltaik und Halbleiterindustrie, aber auch der Fertigung von (opto)elektronischen, mikromechanischen und anderen Bauteilen sowie im Recycling von Elektronikschrott. Chlorhaltige Flusssäurelösungen bieten eine deutliche Verringerung des Chemikalien- und Energieverbrauchs sowie eine erhebliche Einsparung bei den Kosten für die Aufbereitung und Entsorgung. Zur Validierung dieser Anwendungspotentiale dienen nachfolgende Arbeitspakete (AP). AP1: Es sind industrielle bzw. technische Ätzanlagen auf ihre Kompatibilität mit den neuen Lösungen zu testen. Sollten sich Komponenten als instabil erweisen, werden Ersatzmaterialien für die SiSTeC-Anlagen ausgewählt. AP2: Es wird ein Up-Scaling vom 200 ml-Maßstab für die neuen Reinigungs- und Ätzbäder auf 40 Liter durchgeführt. AP3: Es gilt das wichtige Kriterium der Badstandzeiten zu analysieren und zu validieren. Dies soll durch Simulationsrechnungen und Experimente im Technikumsmaßstab am Fraunhofer THM in Freiberg erfolgen. AP4: Am ISC in Konstanz sollen im Rahmen von zehn Versuchen jeweils 50 Wafer sowie Vergleichswafer zu Solarzellen prozessiert und analysiert werden. AP5: In Zusammenarbeit mit den Projektpartnern THM und ISC sollen aus den SiSTeC-Wafern sowie aus Referenzzellen PV-Module gefertigt und für ein Jahr getestet werden. AP6: Das SiSTeC-System wird in Zusammenarbeit mit der bifa Umweltinstitut GmbH einer Öko-Effizienz-Analyse unterzogen.
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Konstanz ? Recycling von Elektroaltgeräten ? Recycling ? Freiberg ? Chlor ? Fluorwasserstoff ? Reinigungsmittel ? Photovoltaik ? Solarzelle ? Flusssäure ? Abfallentsorgung ? Elektro- und Elektronik-Altgeräte ? Chemische Verfahrenstechnik ? Chemikalien ? Chemisches Verfahren ? Energieeinsparung ? Energieverbrauch ? Entsorgungskosten ? Ersatzstoff ? Kostensenkung ? Modul ? Simulationsmodell ? Oberflächenbehandlung ? Bauelement ? Halbleiter ? Zusammenarbeit ? Kompatibilität ? Entsorgung ? Nanostrukturierung ? Validierung ?
Region: Sachsen
Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2017-06-01 - 2020-05-31
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