EpiPower: Prozess-und Anlagenentwicklung für epiaktisch prozessierte Wafer, Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten

Description: Das Projekt "EpiPower: Prozess-und Anlagenentwicklung für epiaktisch prozessierte Wafer, Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz. Es wird/wurde ausgeführt durch: Singulus Technologies AG - Niederlassung Fürstenfeldbruck.Ein wesentlicher Teilschritt der neuartigen EpiWafer-Technologie ist die Porosizierung eines Silizium-Saatwafers mittels elektrochemischen Ätzens zur Erzeugung einer Ablöseschicht. Das Vorhaben behandelt schwerpunktmäßig die Entwicklung und Konstruktion einer Inline-Produktionsanlage für die anodische Porosizierung von Silizium mit einem Durchsatz von größer als 6000 Wafern/Stunde. Damit ist es möglich, die EpiWafer-Technologie in die industrielle Anwendung zu überführen.

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Substrat ? Elektrochemie ? Photovoltaik ? Silizium ? Solarzelle ? Ätzender Stoff ? Verfahrensoptimierung ? Kristallisation ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Klimaschutz ? Bauelement ? Industrielles Verfahren ? Effizienzsteigerung ? Anlagentechnik ? Epitaxie ? Porosität ?

Region: Bayern

Bounding boxes: 12.53381° .. 12.53381° x 47.795° .. 47.795°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (Bereitsteller*in)
• Singulus Technologies AG - Niederlassung Fürstenfeldbruck (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2016-11-01 - 2018-10-31

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0324135C (Webseite)

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.45
• Findability: 0.48

  • Title: 0.00
  • Description: 0.03
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.82
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.