Description: Das Projekt "Teilprojekt: Belastungs- und Zuverlässigkeitsuntersuchungen^Teilvorhaben: Entwicklung von Solarzellen auf flexiblen Substraten^Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol)^Teilvorhaben: Industrielle Aufskalierung^Teilvorhaben: Entwicklung einer Rolle-zu-Rolle-Technologie zur Herstellung von beschichteten Substratfolien für flexible Solarzellen, Teilvorhaben: Anpassung eines VHF- Linearquellen Reaktorraumes für Folienbeschichtung im Durchlaufverfahren" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz, Bau und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden.Für eine bestehende Durchlaufanlage der TU Dresden mit Folienwickeleinrichtung wird eine PECVD-Linienquelle für die Abscheidung von a-Si:H und Mikro c-Si:H-Schichten auf Folien mit folgenden Zielen entwickelt: - Anpassung des Entladungsraumes an die besonderen geometrischen Gegebenheiten der Folie, - VHF-Tauglichkeit für hohe Depositionsraten, - LQ für Deposition auf Folien bei niedrigen Temperaturen geeignet - preiswerter, skalierbarer Aufbau für hohe Arbeitsdrücke geeignet, - minimale parasitäre Depositionen außerhalb des Reaktionsraumes. Nachfolgende technische Arbeitsziele sollen im Rahmen des Projektes von der FAP bearbeitet werden: - Umbau eines Linienquellen-PECVD-Systems einschließlich deren VHF-Leistungseinkopplung für den Frequenzbereich 80 ... 150 MHz speziell für Folienwickelsysteme; - Optimierung des Beschichtungsbereiches/Transportsystems (Erdung), homogene Entladungsausbildung, Entladung ohne parasitäre Plasmen; - partikelarmer Reaktionsraum während der Beschichtung; - Untersuchung verschiedener Entladungsraumgestaltungsvarianten; - Untersuchung der Prinzipien für die Aufskalierung der Linienquelle für höhere Bearbeitungsbreiten.
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Plasmatechnik ? Dresden ? Substrat ? Photovoltaik ? Solarzelle ? Anlagenoptimierung ? Reaktorsicherheit ? Temperatur ? Verfahrenskombination ? Verfahrensoptimierung ? Beschichtung ? Qualitätsmanagement ? Gasförmiger Stoff ? Partikelminderung ? Abscheidung ? Depositionsrate ? Produktionstechnik ? Linienquelle ? Elektromagnetisches Feld ? Chemische Reaktion ? Umweltveränderung ? Verkehrssystem ? Naturschutz ? Verunreinigung ? Physikalischer Vorgang ? Abscheiderate ? Amorphe Solarzelle ? Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung ?
Region: Sachsen
Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2012-10-01 - 2015-09-30
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0325442B (Webseite)Accessed 1 times.