Horizont Europa, Rahmenprogramm für Forschung und Innovation (2021-2027), Laser für eine nachhaltigere industrielle Fertigung

Description: Lasergestützte Technologien zur Herstellung von Strukturen in der Größenordnung von Nanometer bis Millimeter haben eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten, darunter die Photonik, multifunktionale Oberflächen und Lab-on-a-Chip. Zur Herstellung dieser überaus feinen Strukturen wird Laserlithographie genutzt, doch die entsprechenden Prozesse weisen erhebliche Einschränkungen auf. Das EU-finanzierte Projekt OPTIMAL kombiniert erstmals verschiedene Laserlithographietechnologien und Qualitätsüberwachungssysteme in einer Plattform, um bestimmte Strukturen zu entwickeln. Hierdurch soll das Strukturierungsverfahren beschleunigt und verbessert werden. Damit sollen die Prozesseffizienz und Ausbeute gesteigert und somit in vielen Anwendungsbereichen der Energieverbrauch minimiert, Materialverschwendung vermieden, Kosten gesenkt und die Vorlaufzeit reduziert werden.

SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Photonik ? Laser ? Energieverbrauch ? Industrieproduktion ? Europa ? Mikrotechnik ? engineering and technology ? lab on a chip ? other engineering and technologies ?

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• BASF Coatings (Mitwirkung)
• Centrum vedecko-technickych informacii Slovenskej Republiky (Mitwirkung)
• DeltaPix APS (Mitwirkung)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkung)
• Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH (Projektverantwortung)
• Kommission der Europäischen Gemeinschaften Brüssel (Finanzielle Förderung)
• Sony DADC Europe GmbH (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• Universita degli Studi di Parma (Mitwirkung)
• University of Zilina, Slovakia (Mitwirkung)
• micro resist technology Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH (Mitwirkung)

Time ranges: 2022-10-01 - 2026-09-30

Alternatives

• Language: Englisch/English
  Title: Automated Maskless Laser Lithography Platform for First Time Right Mixed Scale Patterning
  Description: Laser-based technologies for creating structures in the range from nanometer up to millimeter size find many applications such as free form optics, photonics, multifunctional surfaces, lab-on-chip, etc. with a global market volume of > 200 billion euros. The original structures know as masters are the first step in the making of tools for key-enabling technologies like injection molding or nanoimprinting. Some of the current limitations in the laser lithography processes are the limited depth of the structures, small area and low speed at process level, high-power consumption in the laser interference lithography, and multiple and expensive processes required for the development of hierarchical multifunctional structures at industrial level.The OPTIMAL project will integrate for the first-time different laser lithography technologies, quality monitoring systems and processes in one platform for the development of structures with (i) high depth (150 micrometer), ii) dimensions in the range from 100 nm to sub-mm in XYZ, iii) 2D&3D shape on flat surface, (iv) combining parallel & serial patterning, (v) no need for external treatments on samples; vi) increased speed (1 cm2/min) and large area (up to 2000 cm2), vii) > 40% of reduction in the consumption of resources for the whole manufacturing process. The OPTIMAL project uses self-learning algorithms to optimize the virtual photomask as well as integrates methods for an inline control of the laser patterning. By accelerating and upscaling the structuring process, the OPTIMAL project will increase the process efficiency and yield, which will reduce the energy consumption, avoid material waste, decrease costs, and lead time in many applications. The platform will potentiate the possibilities in the sustainable making of high quality, versatile, less costly masters for industrial manufacturing, as demonstrated in 4 use cases (optical lenses, multifunctional riblet structures, virtual reality lens, microfluidic chips). https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1139027

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://cordis.europa.eu/project/id/101057029 (Webseite)

Status

Aktiv

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