Description: Prototypen chemischer Sensoren sollen in Duennschicht-Technologie mit integrierter Heizung und Temperaturmessung hergestellt werden. Als Messprinzipien werden resistive, kapazitive und thermische Effekte der Sensor/Teilchen-Wechselwirkung ausgenutzt. Durch geeignete Wahl und Modifizierung der chemisch sensitiven Schichten auf den Prototyp-Grundstrukturen sollen Reproduzierbarkeit, Langzeitstabilitaet und Spezifitaet der Sensoren und Sensorarrays optimiert werden. Die Sensoren sollen zum selektiven Nachweis von Gasen wie CO2, O2, H2O, NOx, C und CH4 in Luft dienen.
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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Ozon ? Gasanalyse ? Kohlenstoff ? Sensor ? Kohlendioxid ? Methan ? Stickoxide ? Temperaturmessung ? Leitfähigkeit ? Luftanalyse ? Messverfahren ? Heizung ? Chemische-Sensoren ? Chemometrie ? Duennschichtstrukturen ? Elektronische-Leitfaehigkeit ? Gasanalytik ? Langzeitstabilitaet ? Prototyp ? Schadstoffnachweis ?
Region: Baden-Württemberg
Bounding boxes: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1989-01-01 - 1991-12-31
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