Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie, Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro

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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Kohlenwasserstoff ? Sensor ? Silizium ? Hardware ? Schwefelhexafluorid ? Gasaustausch ? Verfahrenstechnik ? Europa ? Nachhaltige Produktion ? F-Gase ? Sensorische Bestimmung ? Digitaler Zwilling ?

Region: Baden-Württemberg Bavaria Berlin

Bounding boxes: 11.5° .. 11.5° x 49° .. 49° 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5° 10.44908° .. 10.44908° x 54.03518° .. 54.03518°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien (Projektverantwortung)
• HQ-Dielectrics GmbH (Projektverantwortung)
• Plasmetrex GmbH (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Time ranges: 2025-01-01 - 2028-06-30

Alternatives

• Title: Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie, Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro (ufordat-uba) Origin:
  /Bund/UBA/UFORDAT https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1139529
• Title: Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie, Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro (ufordat-uba) Origin:
  /Bund/UBA/UFORDAT https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1139541

Status

Aktiv

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