Hochdurchsatz Mikroablation zur Electroplating der Solarzellen der nächsten Generation, Teilvorhaben: Schnelle und präzise Durchlauflaserstrukturierung von Siliziumwafern

Description: Der wachsende Markt für geplatete Solarzellen benötigt innovative Technologie im Bereich der Laserstrukturierung - höhere Auflösung für kleinere Leiterbahnen, großes Bearbeitungsfeld für wachsende Waferformate und schnellere Strahlablenkung für kürzere Prozesszeiten. Im Vorhaben MIRACLE werden Laseranlagenkonzepte entwickelt, die die oben genannten Herausforderungen erfüllen. Im Teilvorhaben 'Schnelle und präzise Durchlauflaserstrukturierung von Siliziumwafern' sollen dazu verschiedene Konzepte geprüft und ausgewertet werden. Ziel ist eine homogene Laseröffnung mit einer Breite bis 10 µm auf Wafer des Formats bis M12 und mit einem Durchsatz von 8000 Wafer pro Stunde. Die Umsetzung soll aus einer Kombination verschiedener Lösungsansätze erfolgen. Dazu zählen ultraschnelle Scanner, neue Optikdesigns, aktive Fokuskorrektur und eine schnelle Regelung. Zum Abschluss sollen die Ansätze in einer Protoypenanlage zusammenfließen, an der die definierten Anforderungen erprobt und demonstriert werden können.

SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Solarzelle ? Scanner ? Galvanik ? Innovation ?

Region: Mühlhausen/Thüringen

Bounding boxes: 10.453° .. 10.453° x 51.2217° .. 51.2217°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Geldgeber*in)
• LPKF SolarQuipment GmbH (Betreiber*in)
• RAYLASE GmbH (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2023-02-01 - 2026-01-31

Alternatives

• Language: Englisch/English
  Title: Subproject: Fast and precise continuous laser patterning of silicon wafers
  Description: The growing market for printed solar cells requires innovative technology in the field of laser structuring - higher resolution for smaller tracks, large processing area for growing wafer formats and faster beam deflection for shorter process times. In the MIRACLE project, laser system concepts are being developed to meet the above challenges. In the sub-project 'Fast and precise continuous laser structuring of silicon wafers', various concepts will be tested and evaluated. The goal is a homogeneous laser opening with a width of up to 10 µm on wafers of the format up to M12 and with a throughput of 8000 wafers per hour. The implementation is to be carried out from a combination of different approaches. These include ultrafast scanners, new optics designs, active focus correction and fast control. Finally, the approaches are to be combined in a prototype system on which the defined requirements can be tested and demonstrated. https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1123736

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.47
• Findability: 0.53

  • Title: 0.00
  • Description: 0.17
  • Identifier: false
  • Keywords: 1.00
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

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