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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Gasgemisch ? Topographie ? Verfahrensoptimierung ? Beschichtung ? Abscheidung ? Energieeinsparung ? Langzeitverhalten ? Pumpe ? Verfahrenstechnik ? Wirtschaftlichkeit ? Oberflächenbehandlung ? Thermisches Verfahren ? Anlagenbau ? in situ ? Lagerung ? Abdichtung ? Plasmatechnik ? DLC-Schicht ? Diamond-Like-Carbon ? Maßstabsvergrößerung ? Nachbehandlung ? PACVD-Verfahren ? Prototyp ? Reaktionstemperatur ? Temperaturabsenkung ? Verdampfung ?
Region: Baden-Württemberg
Bounding boxes: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2009-10-01 - 2012-09-30
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter?repno=01RI0906B (Webseite)Accessed 1 times.