Description: Das Projekt "Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren (Fertigungsverfahren/-techniken) zur Silicium-Beschichtung von grossflaechigen Substraten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Hochschule Aachen, Institut für Eisenhüttenkunde durchgeführt. Im Rahmen dieses Forschungsvorhabens wird zur Siliciumbeschichtung von verschiedenen Substratmaterialien (zB Glas, Aluminium, Edelstahl usw) die Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren und -techniken unter Anwendung von elektrodenlosen Plasma-Brennern ('Plasma-Guns') in verschiedenen Gasatmosphaeren (zB Wasserstoff, Inertgas usw) im Unterdruckbereich (1 bis 100 mbar) mit moeglichst schnellen und hoeheren Durchsaetzen und Siliciumabscheideraten angestrebt. Zur Verbesserung der Schichtqualitaeten wird die Anwendungsmoeglichkeit von HF-Plasma-Brennern zur thermischen Nachbehandlung von Siliciumschichten in der Spritzkammer ueberprueft. Zusaetzlich sollen die verschiedenen Versuchsparameter wie Gasdruck, -durchsaetze, Plasma- und Substrattemperaturen, -materialien, verschiedene Reinigungsbedingungen der Substratmaterialien und die verschiedenen technologischen Parameter wie Regelung, Steuerung und genauere Prozessdatenerfassung usw untersucht werden.
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Glas ? Aachen ? Luftdruck ? Aluminium ? Plasmaphysik ? Schutzgas ? Silizium ? Wasserstoff ? Regeltechnik ? Edelstahl ? Beschichtung ? Abscheidung ? Bewertungskriterium ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Stahl ? Forschungsprojekt ? Brenner ? Elektrode ? Siliziumbeschichtung ? Spritzverfahren ?
Region: Nordrhein-Westfalen
Bounding boxes: 6.76339° .. 6.76339° x 51.21895° .. 51.21895°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1986-01-01 - 1991-06-30
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