Description: Im Rahmen dieses Forschungsvorhabens wird zur Siliciumbeschichtung von verschiedenen Substratmaterialien (zB Glas, Aluminium, Edelstahl usw) die Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren und -techniken unter Anwendung von elektrodenlosen Plasma-Brennern ('Plasma-Guns') in verschiedenen Gasatmosphaeren (zB Wasserstoff, Inertgas usw) im Unterdruckbereich (1 bis 100 mbar) mit moeglichst schnellen und hoeheren Durchsaetzen und Siliciumabscheideraten angestrebt. Zur Verbesserung der Schichtqualitaeten wird die Anwendungsmoeglichkeit von HF-Plasma-Brennern zur thermischen Nachbehandlung von Siliciumschichten in der Spritzkammer ueberprueft. Zusaetzlich sollen die verschiedenen Versuchsparameter wie Gasdruck, -durchsaetze, Plasma- und Substrattemperaturen, -materialien, verschiedene Reinigungsbedingungen der Substratmaterialien und die verschiedenen technologischen Parameter wie Regelung, Steuerung und genauere Prozessdatenerfassung usw untersucht werden.
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Tags: Aluminium ? Glas ? Luftdruck ? Silizium ? Wasserstoff ? Regeltechnik ? Edelstahl ? Beschichtung ? Abscheidung ? Bewertungskriterium ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Stahl ? Forschungsprojekt ? Brenner ? Schutzgas ? Elektrode ? Plasmaphysik ? Siliziumbeschichtung ? Spritzverfahren ?
Region: Nordrhein-Westfalen
Bounding boxes: 5.8662503507406045° .. 9.461478369136085° x 50.323011952581965° .. 52.53144342795586°
License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0
Language: Deutsch
Last harvest: 12.05.2026 00:13
Time ranges: 1986-01-01 - 1991-06-30
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