Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)^Si- und Si-Ge-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendung (SiGe-TE)^Glancing Angle Deposition von Si-Ge-Nanosäulen^Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE), Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)

Description: Das Projekt "Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)^Si- und Si-Ge-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendung (SiGe-TE)^Glancing Angle Deposition von Si-Ge-Nanosäulen^Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE), Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften, Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik.

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Substrat ? Elektrizität ? Germanium ? Silizium ? Elektronenmikroskopie ? Materialprüfung ? Struktur-Wirkung-Beziehung ? Temperatur ? Wärmeleitfähigkeit ? Kristallisation ? Leitfähigkeit ? Messdaten ? Produktionstechnik ? Werkstoffkunde ? Wirkungsanalyse ? Halbleiter ? Produktdesign ? Physikalische Größe ? Netz ? Silizium-auf-Isolator-Substrat ? Thermoelektrischer Generator ? Thermoelektrizität ? ZT-Wert ?

Region: Sachsen-Anhalt

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Bildung und Forschung (Bereitsteller*in)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkende)
• IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics , Institut für innovative Mikroelektronik (Mitwirkende)
• Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (Mitwirkende)
• Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg (Mitwirkende)
• Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften, Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2009-08-01 - 2013-02-28

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=03X3541B (Webseite)

Status

Aktiv

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