Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)^Si- und Si-Ge-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendung (SiGe-TE)^Glancing Angle Deposition von Si-Ge-Nanosäulen^Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE), Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)

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Tags: Substrat ? Elektrizität ? Germanium ? Silizium ? Elektronenmikroskopie ? Materialprüfung ? Struktur-Wirkung-Beziehung ? Temperatur ? Wärmeleitfähigkeit ? Kristallisation ? Leitfähigkeit ? Messdaten ? Produktionstechnik ? Wirkungsanalyse ? Produktdesign ? Physikalische Größe ? Halbleiter ? Netz ? Silizium-auf-Isolator-Substrat ? Thermoelektrischer Generator ? Thermoelektrizität ? Werkstoffkunde ? ZT-Wert ?

Region: Sachsen-Anhalt

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Geldgeber*in)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkende)
• IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics , Institut für innovative Mikroelektronik (Mitwirkende)
• Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (Mitwirkende)
• Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg (Mitwirkende)
• Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften, Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2009-08-01 - 2013-02-28

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=03X3541B (Webseite)

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.42
• Findability: 0.33

  • Title: 0.00
  • Description: 0.00
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.74
  • Spatial: RegionOther (0.25)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

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