Excimerlaser Strukturierung von Triazen-Polymeren

Description: Charakterisierung neuartiger Triazencopolymere auf ihre LASER-Ablationseigenschaften, die vom Projektpartner (Prof. Nuyken, Technische Universitaet Muenchen) geliefert werden. Triazene sollten sich besonders gut ablatieren lassen, da sie aufgrund der chromophoren -N gleich N-N- Gruppe im Molekuel im Bereich von 193nm (Excimerlaser) absorbieren. Ausserdem wird erwartet, dass der Stickstoff, der sich beim strahlungsinduzierten Zerfall des Triazens bildet, hoehere Ablationsraten zulaesst und den abgelagerten Debris verringert.

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Tags: München ? Triazin ? Heterozyklen ? Stickstoff ? Absorption ? Abbaubarkeit ? Schadstoffabbau ? Ablation ? Excimerlaser ? Laseranwendung ? Triazen ? Triazencopolymere ?

Region: Bavaria

Bounding boxes: 11.5° .. 11.5° x 49° .. 49°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Deutsche Forschungsgemeinschaft (Finanzielle Förderung)
• Institut für Mikrotechnik Mainz e. V. & Co. KG (Mitwirkung)
• Technische Universität München (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Time ranges: 1997-02-01 - 1999-01-31

Status

Aktiv

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