Zuverlässige Leistungselektronik aus neuartigen Materialien für die energieeffiziente Elektromobilität - HiPERFORM, Teilvorhaben: Sputtertechnologie für epitaktische Aluminiumnitrid-/Galliumnitrid-Schichten

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Tags: CO2-Emission ? Galliumnitrid ? Elektronik ? Abscheidung ? Technik ? Verfahrenstechnik ? Industrie ? Energieeffizienz ? Bauteil ? Verkehr ? Neuartige Materialien ? Abscheiderate ? Leistungsfähigkeit ? Produktionskosten ?

Region: Sachsen

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Language: Deutsch

Organisations

• AVL Software and Functions GmbH (Mitwirkung)
• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• CREAVAC-Creative Vakuumbeschichtung GmbH (Mitwirkung)
• Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Projektverantwortung)
• Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Mitwirkung)
• Infineon (Mitwirkung)
• SET Power Systems GmbH (Mitwirkung)
• Sindlhauser Materials GmbH (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• scia Systems GmbH (Mitwirkung)

Last harvest: 22.04.2026 00:25

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