KMU-innovativ - Klimaschutz: PlasmaKlient - Neuartige Plasmatechnologie für den Ausschluss klimaschädlicher Fluorkohlenwasserstoff-Emissionen in industriellen Trockenätzprozessen, Teilprojekt 2: Prozess-/Messtechnische Grundlagen und Steueralgorithmik für die spektrenbasierte Prozessregelung

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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Fluor ? Elektroindustrie ? Abluft ? Messtechnik ? Rezyklat ? Emissionsfreiheit ? Emission ? Flussspat ? Galvanik ? Klimaschutz ? Treibhauspotenzial ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding boxes: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Geldgeber*in)
• Hochschule Furtwangen, Institut für Angewandte Forschung (IAF) (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2019-09-01 - 2022-02-28

Status

Aktiv

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