SupportProgram
Tags: Elektronik ? Verfahrensparameter ? Qualitätsmanagement ? Energieeinsparung ? Produktionstechnik ? Energieeffizienz ? Pilotprojekt ? Wettbewerbsfähigkeit ? Nanotechnologie ? Highend-Photomaske ? Kantenrauhigkeit ? Line-Edge-Roughness ?
Region: Saxony
Bounding boxes: 13.25° .. 13.25° x 51° .. 51°
License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2009-02-01 - 2012-01-31
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter?repno=13N10182 (Webseite)Accessed 1 times.