(CoolEnergy) - Teilvorhaben: Charakterisierung energieeffizienter Bausteine (CoolRule), Teilvorhaben: High-End Fotomasken für energieeffiziente Nanoelektronik (CoolMask)

SupportProgram

Tags: Elektronik ? Verfahrensparameter ? Qualitätsmanagement ? Energieeinsparung ? Produktionstechnik ? Energieeffizienz ? Pilotprojekt ? Wettbewerbsfähigkeit ? Nanotechnologie ? Highend-Photomaske ? Kantenrauhigkeit ? Line-Edge-Roughness ?

Region: Sachsen

Bounding boxes: 11.87146257539018° .. 15.041815656442171° x 50.17153496476331° .. 51.68497371608658°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (Projektverantwortung)
• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkung)
• NaMLab (Mitwirkung)
• Qimonda Dresden GmbH & Co.OHG (Mitwirkung)
• Technische Universität Dresden (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 18.06.2026 15:52

Time ranges: 2009-02-01 - 2012-01-31

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=13N10182 (Webseite) ?

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.46
• Findability: 0.51

  • Title: 0.80
  • Description: 0.00
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.75
  • Spatial: BoundingBox (0.50)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.