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Teilvorhaben 3^Herstellung von SiOx-Barriereschichten aus Polysilazanen bei Normaldruck und niedriger Temperatur mittels VUV-Strahlung, Teilvorhaben 2

Description: Das Projekt "Teilvorhaben 3^Herstellung von SiOx-Barriereschichten aus Polysilazanen bei Normaldruck und niedriger Temperatur mittels VUV-Strahlung, Teilvorhaben 2" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: Radium Lampenwerk GmbH.

Types:
SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Substrat ? Silizium ? Abwärme ? Katalyse ? Radium ? Anorganische Verbindung ? Marktentwicklung ? Photochemische Reaktion ? Produktionstechnik ? Stand der Technik ? Temperaturbeständigkeit ? Verfahrenstechnik ? Wirkungsgrad ? UV-Strahlung ? Globale Aspekte ? Grundlagenforschung ? Strahlungsquelle ?

Region: Nordrhein-Westfalen

Bounding boxes: 6.76339° .. 6.76339° x 51.21895° .. 51.21895°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2006-12-01 - 2009-11-30

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Status

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