Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C), Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik

Description: Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.

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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Siliziumverbindung ? Photovoltaik ? Silizium ? Solarzelle ? Fischembryo-Toxizitätstest ? Abscheidung ? Energietechnik ? CVD ? Photosensorik ? Prozessgas ? RP-CVD ?

Region: Bavaria

Bounding boxes: 11.5° .. 11.5° x 49° .. 49°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Angewandte Solarenergie - ASE, Produktzentrum Phototronics (Mitwirkung)
• Bundesministerium für Forschung und Technologie (Finanzielle Förderung)
• Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut (Projektverantwortung)
• Technische Universität München, Fakultät für Physik (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• Universität Kassel (Mitwirkung)

Time ranges: 1990-11-01 - 1994-12-31

Status

Aktiv

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