Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C), Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik

Description: Das Projekt "Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C), Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut.Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.

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Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: München ? Siliziumverbindung ? Photovoltaik ? Silizium ? Solarzelle ? Fischembryo-Toxizitätstest ? Abscheidung ? Energietechnik ? CVD ? Photosensorik ? Prozessgas ? RP-CVD ?

Region: Bayern

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License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Angewandte Solarenergie - ASE, Produktzentrum Phototronics (Mitwirkende)
• Bundesministerium für Forschung und Technologie (Bereitsteller*in)
• Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut (Betreiber*in)
• Technische Universität München, Fakultät für Physik (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)
• Universität Kassel (Mitwirkende)

Time ranges: 1990-11-01 - 1994-12-31

Status

Aktiv

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