Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C), Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik

Description: Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.

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Tags: Photovoltaik ? Silizium ? Solarzelle ? Fischembryo-Toxizitätstest ? Siliziumverbindung ? Energietechnik ? CVD ? Photosensorik ? Prozessgas ? RP-CVD ?

Region: Bayern

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Angewandte Solarenergie - ASE, Produktzentrum Phototronics (Mitwirkung)
• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Technische Universität München (Mitwirkung, Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• Universität Kassel (Mitwirkung)

Last harvest: 04.05.2026 00:14

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