Selektive Polysilizium Finger, Teilvorhaben: PECVD Schichtentwicklung

Description: Im Projekt SelFi soll ein industrieller Herstellungsprozess zur Implementierung von lokalen passivierten Kontakten an der Zellvorderseite von Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon) Siliziumsolarzellen entwickelt werden. Solch strukturierte passivierte Kontakte sollen anschließend auch für die Entwicklung von poly-Si passivierten Rückkontaktsolarzellen (IBC) nutzbar gemacht werden. Für beide Zellkonzepte sollen die Kontakte mittels Laser-enhanced contact-optimization (LECO) Prozess optimiert werden. Schlüsseltechnologie von Schichten im Sinne des Projekts ist die Abscheidung von Polysilizium-Schichten und dotierten Siliziumoxidschichten (Dotierstoff-Silikatglas) im PECVD-Verfahren. Diese Schichten können voraussichtlich mit einer neuartigen PECVD-Anlage von centrotherm, die sich gerade in der Testphase befindet, besser und effektiver abgeschieden werden als mit bisher bekannter Anlagentechnologie. Die neuartige Anlagentechnologie soll im Rahmen des Projekts dafür qualifiziert werden, die Schichten im Sinne des Projekts großtechnisch und effizient herstellen zu können.

SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Oxid ? Abscheidung ? Produktionstechnik ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding boxes: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• centrotherm international AG (Projektverantwortung)

Time ranges: 2022-09-01 - 2025-08-31

Alternatives

• Language: Englisch/English
  Title: Subproject: PECVD layer development
  Description: In the SelFi project, an industrial manufacturing process for the implementation of local passivated contacts on the cell front side of Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon) silicon solar cells will be developed. Such structured passivated contacts shall subsequently also be made usable for the development of poly-Si passivated back-contact solar cells (IBC). For both cell concepts, the contacts are to be optimized by means of a laser-enhanced contact-optimization (LECO) process. Key technology of layers in the sense of the project is the deposition of polysilicon layers and doped silicon oxide layers (dopant-silicate glass) in the PECVD process. It is anticipated that these layers can be deposited better and more effectively with a novel PECVD system from centrotherm, which is currently in the test phase, than with previously known system technology. The novel system technology is to be qualified within the scope of the project to be able to produce the coatings efficiently on a large scale in the sense of the project. https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1122124

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.50
• Findability: 0.68

  • Title: 1.00
  • Description: 0.10
  • Identifier: false
  • Keywords: 1.00
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.