Teilvorhaben 6: Ökonomisch/Ökologische Reinigungstechnologie für die PECVD-Beschichtung und andere Arbeit, Teilvorhaben 5: Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten

SupportProgram

Tags: Werkstoff ? Anlagenoptimierung ? Beschichtung ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Laborversuch ? Anlagenbau ? in situ ? Diamond-Like-Carbon (DLC) ? Prototyp ? Werkzeug ?

Region: Baden-Württemberg

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Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Burgmann Industries GmbH und Co. KG, Abteilung Entwicklungs- und Engineeringszentrum (Mitwirkung)
• CEROBEAR GmbH (Mitwirkung)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• inprotec AG (Projektverantwortung)

Last harvest: 04.05.2026 00:24

Time ranges: 2005-09-01 - 2009-02-28

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=01RI05102 (Webseite)

Status

Aktiv

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