Description: Hauptziel des Vorhabens ist der Nachweis, aus der Gasphase abgeschiedenes grossflaechiges, kolumnarkristallines Silicium als Basismaterial fuer die MIS-Inversionsschichtzelle zu benutzen. Damit lassen sich zwei Arbeitsschritte der herkoemmlichen Technologie einsparen: zum ersten das Aufschmelzen des poly-Siliciums und die daran anschliessende Kristallherstellung (Czochralsky oder multikristalline Bloecke) und zum zweiten den aufwendigen und materialverbrauchenden Saegeschritt zur Herstellung der flaechigen Si-Scheibe.
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Tags: Siliziumnitrid ? Glas ? Kohlenstoff ? Silizium ? Solarzelle ? Solartechnik ? Beschichtung ? Prüfverfahren ? Systemtechnik ? Zelle ? Eignungsfeststellung ? Halbleiter ? Inversionsschicht ? MIS ? MIS-Inversionsschichtzelle ?
Region: Bayern
Bounding boxes: 8.975925858835046° .. 13.839584445425059° x 47.27012360469913° .. 50.56422474230778°
License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0
Language: Deutsch
Last harvest: 28.05.2026 00:16
Time ranges: 1988-10-01 - 1994-02-28
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