Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten

Description: Das Projekt "Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Sentech Instruments GmbH durchgeführt. Innerhalb des Verbundprojekts SIMPLEX (Simulation und Experiment: Plasmabeschichtungen von passiven Schichtsystemen auf c-Si-Solarzellen) trägt SENTECH mit der ALD-Beschichtung ein Verfahren bei, welches für die kontourtreue und dichte Abscheidung auch im Monolagenbereich bekannt ist. Damit kann die PECVD der Partner hinsichtlich erreichbarer Eigenschaften (Schichtdichte, chemische Zusammensetzung u.a.) verglichen werden. Der zweite Beitrag im Projekt ist die exsitu Charakterisierung im breiten Spektralbereich mit spektroskopischer Ellipsometrie, auch im mittleren Infrarot (Schwingungsbanden). Insgesamt zielt das Teilprojekt 'Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten' auf die Analyse des Wachstums von Schichten im Bereich von 1 nm ...10 nm mittels der PECVD ab. Das Abscheiden so dünner geschlossener Schichten ist eine prozesstechnische Herausforderung, bei der das Monitoring des Plasmas durch die Projektpartner durch die Ellipsometrie mit einem Monitoring des generierten Produktes ergänzt werden soll. Mit diesem Monitoring soll zum einen der Abscheideprozess erforscht werden: Wann wird wieviel abgeschieden und was entsteht? 1. Schichtabscheidung, 2. Simulation, 3. In-situ-Charakterisierung, 4. Ex-situ-Charakterisierung.

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Plasmatechnik ? Photovoltaik ? Solarzelle ? Chemische Zusammensetzung ? Spektralanalyse ? Vakuumtechnik ? Beschichtung ? Abscheidung ? Monitoring ? Simulation ? Verfahrenstechnik ? Vergleichsanalyse ? ex-situ ? Atomlagenabscheidung ? Kristalline Silizium-Solarzelle ? Nanobereich ? Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition ?

Region: Berlin

Bounding boxes: 9.01699° .. 9.01699° x 48.70032° .. 48.70032°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (Bereitsteller*in)
• Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (Mitwirkende)
• Sentech Instruments GmbH (Betreiber*in)
• TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2014-10-01 - 2017-09-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0325754C (Webseite)

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.38
• Findability: 0.51

  • Title: 0.00
  • Description: 0.31
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.76
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.33

  • Landing page: Generic (0.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.