Description: Bei III-V Epitaxieprozessen befindet sich im Abgasstrom ein toxisches, reaktives Gemisch aus Hydriden, elementarem Arsen und Phosphor sowie Metallorganika und ihren Reaktionsprodukten in fester, flüssiger und gasförmiger Form, das eine auf den Prozess abgestimmte, stufenweise Lösung zur Abgasreinigung notwendig macht. Sicherheit und technische Machbarkeit standen bei der Lösung neben der Kosteneffizienz bislang im Vordergrund. Das bisherige, durch Hinzufügen von zusätzlichen Komponenten entstandene mehrstufige Abgasreinigungssystem aus einer Filter-Trockenbettabsorber-Kombination ist im hochvolumigen Produktionsbetrieb noch zu serviceaufwendig und führt zum Beispiel wegen der nicht korrelierten Standzeiten der Einzelkomponenten zu kaum abstimmbaren Servicezyklen und damit geringerer Produktionseffizienz. Es soll eine Lösung erarbeitet und getestet werden, die servicefreundlicher und damit sicherer, technisch kompakter und bezüglich der Aufnahmekapazität auch leistungsfähiger ist.
SupportProgram
Origins: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Abgasfilter ? Absorber ? Arsen ? Metallorganische Verbindung ? Phosphor ? Solarzelle ? Solarkonzentrator ? Anlagenoptimierung ? Feststoff ? Verfahrenskombination ? Abgasemission ? Abgasreinigung ? Bewertung ? Emissionsminderung ? Produktionstechnik ? Stoffgemisch ? Toxische Substanz ? Luftschadstoff ? Kosteneffizienz ? Schadstoff ? Industrielles Verfahren ? Effizienzsteigerung ? Kristallisation ? Betriebserfahrung ? Flüssiger Stoff ? Hydrid ? Kompaktbauweise ? Prototyp ? Trockenbettabsorber ?
Region: Bavaria
Bounding boxes: 11.5° .. 11.5° x 49° .. 49°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2011-10-01 - 2013-09-30
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter?repno=0325379F (Webseite)Accessed 2 times.