KMU-innovativ - Energieeffizientes Nano-Packaging für die Mikrosystemtechnik (NanoPack), Teilvorhaben: Anwendungsuntersuchung, Langzeittests und Versuche zur Montagefähigkeit

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Tags: Calciumfluorid ? Werkstoff ? Elektrolyt ? Sensor ? Silizium ? Beschichtung ? Langzeitverhalten ? Produktionstechnik ? Energieeffizienz ? Anlagenbau ? Bauteil ? Nanomaterialien ? Mikrotechnik ? Entsorgung ? Saphir ?

Region: Thüringen

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Mitwirkung)
• Micro-Sensor GmbH (Projektverantwortung)
• NB Technologies GmbH (Mitwirkung)
• Siegert Thinfilm Technology GmbH (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 15.05.2026 00:28

Time ranges: 2010-11-01 - 2013-10-31

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=13N11233 (Webseite)

Status

Aktiv

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