Description: Das Projekt "Atomic Layer Deposition für die Oberflächenpassivierung von hocheffizienten Siliziumsolarzellen (ALD)" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Institut für Solarenergieforschung GmbH durchgeführt. 1. Vorhabenziel Ziel dieses Vorhabens ist es, das Potential von Aluminiumoxid-Schichten, die mit dem Atomic Layer Deposition (ALD)-Verfahren abgeschieden werden sollen, für die Oberflächenpassivierung von hocheffizienten kristallinen Siliziumsolarzellen zu evaluieren. 2. Arbeitsplanung Es soll eine ALD-Laboranlage angeschafft werden, die sowohl Abscheidungen mittels thermischer ALD als auch mit plasmaunterstützter ALD erlaubt. Die abgeschiedenen Schichten sollen bezüglich ihrer Passivierwirkung auf diffundierten und undiffundierten Siliziumoberflächen optimiert werden. Die optischen Eigenschaften der Schichten sowie das Schichtwachstum werden in-situ mit dem Ellipsometer charakterisiert. Die optimal passivierenden Schichten werden im nächsten Schritt detailliert auf ihre elektrischen, optischen und strukturellen Eigenschaften untersucht. Es werden außerdem Stapelschichten aus Aluminiumoxid und PECVD-Siliziumnitrid und Sliziumoxid untersucht. Die so erhaltenen Passivierschichtsysteme werden in hocheffiziente Solarzellen impementiert. 3. Ergebnisverwertung Im Erfolgsfall sollen die diesem Projekt entwickelten Passivierschichten in industrielle Hocheffizienzsolarzellen implementiert werden.
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Aluminiumoxid ? Plasmatechnik ? Siliziumdioxid ? Siliziumnitrid ? Silizium ? Solarzelle ? Materialprüfung ? Solartechnik ? Abscheidung ? Deposition ? Oberflächenbehandlung ? Thermisches Verfahren ? in situ ? Kenngröße ? Versuchsanlage ? Effizienzsteigerung ? Atomic Layer Deposition ? Dünnschichtmodul [Solarzelle] ? Ellipsometer ? Oberflächenpassivierung ? PECVD-Siliziumnitrid ? Siliziumsolarzelle ? Stapelschicht ?
Region: Niedersachsen
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2008-05-01 - 2013-01-31
Webseite zum Förderprojekt
http://dx.doi.org/10.1063/1.2784168 (Webseite)Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter?repno=0325050 (Webseite)Accessed 1 times.