EPI-Inspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

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Tags: Messgerät ? Substrat ? Schornstein ? Verunreinigung ? Technischer Fortschritt ? Maschine ? Hauptziel ?

Region: Sachsen

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Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Gesellschaft (Mitwirkung)
• Meyer Burger (Germany) GmbH (Projektverantwortung)
• NexWafe GmbH (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 14.05.2026 00:30

Time ranges: 2019-12-01 - 2021-11-30

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