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Zwanzig20 - HYPOS: Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektro-mechanischen Sensorstrukturen, Teilprojekt 2: Herstellung und Charakterisierung von Si-MEMS Strukturen mit angepassten elastomechanischen Eigenschaften

Description: Das Projekt "Zwanzig20 - HYPOS: Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektro-mechanischen Sensorstrukturen, Teilprojekt 2: Herstellung und Charakterisierung von Si-MEMS Strukturen mit angepassten elastomechanischen Eigenschaften" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH.

Types:
SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Palladium ? Erdgas ? Sensor ? Wasserstoff ? Gasnetz ? Messtechnik ? Schadstoffemission ? Industrie ? Produktionstechnik ? Forschungseinrichtung ? Wirtschaftszweig ? Raumtemperatur ? Selektivität ?

Region: Mühlhausen/Thüringen

Bounding boxes: 10.453° .. 10.453° x 51.2217° .. 51.2217°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2021-01-01 - 2021-12-31

Status

Quality score

Accessed 1 times.