Produktionstechnologieforschung fuer die Vorder- und Ruckseiten-IC Produktion

Description: Das Projekt fasst Entwicklungstaetigkeiten zusammen, die zu einer wirtschaftlichen Fertigung von CMOS-IC's der 0,7 Mikrometer-Generation erforderlich sind. Die Projektbereiche dieser Taetigkeiten sind: Anlagen und Geraete der Chipherstellung, Maskenherstellung und Automatisierung. Insbesondere bei der Verbesserung der Fertigungsmittel fuer die Chipherstellung wird auf die Verringerung der Schadstoffemissionen aus Prozessgasen und -chemikalien Wert gelegt. Die Minimierung des Medienverbrauchs ist ebenfalls ein Anliegen dieses Projektes.

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Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Hardware ? Schadstoffemission ? Automatisierung ? Emissionsminderung ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Wirtschaftlichkeit ? Europäische Union ? Abscheidetechnik ? Chipmontage ? Computertechnik ? Halbleiter ? IC-Herstellung ? Integrierte-Schaltungen ? Reinraumtechnik ?

Region: Bavaria

Bounding boxes: 11.5° .. 11.5° x 49° .. 49°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Kommission der Europäischen Gemeinschaften Brüssel (Finanzielle Förderung)
• Philips Bedrijven (Mitwirkung)
• Siemens (Projektverantwortung)
• Telefunken electronic (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Time ranges: 1992-01-01 - 1993-12-31

Status

Aktiv

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