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Teilvorhaben: Nasschemische Metallisierungen auf Nickelsilizidschichten für Solarzellen und Waferdurchkontaktierungen

Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Nasschemische Metallisierungen auf Nickelsilizidschichten für Solarzellen und Waferdurchkontaktierungen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von NB Technologies GmbH durchgeführt. Das Vorhabens zielt auf die Realisierung von effizienten Solarzellenkontakten mittels galvanischer Metallisierungen. Der wesentliche Aspekt ist die Untersuchung der Dotierstoffsegregation im Emitter bei der Ausbildung eines Nickelsilizids. Unter Nutzung dieses Effektes kann ein hocheffizienter Emitter mit niedriger Dotierung einen guten metallischen Kontakt ausbilden, was zu höherer Effizienz der Solarzelle führt. Der Einsatz von porösem Silizium beeinflusst die Ausbildung des Silizids und der Dotierstoffsegregation. Im Projektverlauf sollen die Bäder und Prozesse der galvanischen Abscheidung entstehen für eine spätere Umsetzung auf Industrieanlagen. Als zweiter Aspekt werden Metallisierungsprozsse für die Durchkontaktierung von Siliziumsubstraten bearbeitet. Hier bietet die Nickelsilizidbildung Vorteile als haftfeste Startschicht und Barriere sowie für Anforderungen an hermetische Kapselung. Ziel ist, einen Prozess zu realisieren, um metallische Durchkontaktierungen in dicken Substraten zu erzeugen, im Gegensatz zu TSV-Technologien für relativ dünne Substratdicken und Stapelaufbauten. Es werden Solarzellen mit hohen Emitterwiderständen mit galvanischen Nickel beschichtet. Die Silizidbildung wird mit und ohne porösem Silizium untersucht. Es werden elektrische Untersuchungen und Mikroskopuntersuchungen der Silizidausbildung durchgeführt. Es werden Halbleiterwafer mit Durchgangslöchern versehen und mittels chemischer Abscheidung mit Nickel und Kupfer gefüllt.

Types:
SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Nickel ? Substrat ? Kupfer ? Silizium ? Solarzelle ? Emissionsquelle ? Materialprüfung ? Solartechnik ? Beschichtung ? Chemische Verfahrenstechnik ? Abscheidung ? Galvanik ? Kapselung ? Ausbildung ? Verfahrenstechnik ? Werkstoffkunde ? Industrieanlage ? Oberflächenbehandlung ? Energieeffizienz ? Chemische Reaktion ? Metallurgie ? Effizienzsteigerung ? Galvanisierbad ?

Region: Bremen

Bounding boxes: 8.80717° .. 8.80717° x 53.07582° .. 53.07582°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2014-08-01 - 2017-07-31

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