Gesundheitliche Risiken durch Plasmaaetzprozesse in der Halbleiterindustrie - Teilprojekt: Toxikologische Charakterisierung von Abprodukten

Description: Beim Plasmaaetzvorgang in der Halbleiterproduktion entstehen als Abprodukte potentiell toxische, mutagene und kanzerogene Stoffgemische, die sich als Feststoffe in den Reaktoren oder den lufttechnischen Anlagen abscheiden bzw gasfoermig emittiert werden. Ziel des Vorhabens ist die toxikologische Charakterisierung der Abprodukte, um Hinweise fuer die Praevention von moeglichen Schadwirkungen zu erlangen. Es sollen Grundlagen fuer die Entscheidungsfindungen im betrieblichen Gesundheitsschutz, zur Optimierung des Vorgehens bei akuten Intoxikationen und im Havariefall sowie zu umwelttoxikologischen Fragen und zur Entsorgung geschaffen werden. Fuer die Erreichung dieser Ziele soll eine breite Palette von Untersuchungen mit in-vitro- und in-vivo-Methoden Anwendung finden.

SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Gesundheitsgefährdung ? Kanzerogenität ? Vergiftung ? Mutagenität ? Schadensvorsorge ? Feststoff ? Schadstoffemission ? Industrie ? Karzinogen ? Mutagener Stoff ? Schädliche Umwelteinwirkung ? Arbeitsplatz ? Gesundheitsschutz ? in vitro ? Reaktor ? Stoffgemisch ? Toxikologie ? Gesundheitsvorsorge ? Unfall ? Halbleiter ? Gentoxikologie ? In-Vivo ? Plasmaaetzvorgang ?

Region: Sachsen-Anhalt

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Geldgeber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)
• Universität Halle-Wittenberg, Institut für Humangenetik und Medizinische Biologie (Mitwirkende)
• Universität Halle-Wittenberg, Institut für Zoologie (Mitwirkende)
• Universität Halle-Wittenberg, Universitätsklinikum Halle (Saale), Institut für Umwelttoxikologie (Betreiber*in)
• Universität Leipzig, Fakultät für Chemie und Mineralogie (Mitwirkende)

Time ranges: 1991-10-01 - 1994-12-31

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.43
• Findability: 0.37

  • Title: 0.00
  • Description: 0.11
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.87
  • Spatial: RegionOther (0.25)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.