Das Projekt "Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Entwicklung eines Chalkogenisierungsprozesses auf Basis SEL" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz, Bau und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Universität Oldenburg, Institut für Physik, Arbeitsgruppe Energie- und Halbleiterforschung.(1) Technische Umsetzung der plasmagestützten Selen-Radikalstromerzeugung im Technikumsmaßstab (2) Erhöhte Materialeffizienz durch verbesserte Abscheidetechnologie (3) Niedrigere Kosten für Anlagenwartung und Entsorgung des ungenutzten, toxischen Chalkogens (4) Energiesparende Herstellung von CIGSe-Schichten durch verringerte Prozesstemperaturen und kürzere Taktzeiten auf Grund verbesserter Haftungskoeffizienten des Selens (5) Erhöhtes Wirkungsgradpotential für CIGSe-Solarzellen und -Module durch Realisierung elektronisch hochwertiger und homogener CIGSe-Dünnschichten durch prozesstechnisch optimierte Rekristallisationsvoraussetzungen (6) Verringerung von Metastabilitätseffekten (7) absolute Wirkungsgradsteigerung von 0.5-1Prozent absolut durch plasmagestützte SEL-RTP-Prozessvariante. (a) Integration RTP-Prozessmodul in Beschichtungsanlage UOL (b) Entwicklung Referenzprozess auf Basis SEL-RTP inkl. Schichtanalytik, Solarzellenherstellung und -charakterisierung (c) Planung, Optimierung und anlagentechnische Integration des Plasmagenerators (d) Entwicklung und Optimierung des plasmagestützten SEL-RTP-Prozesses inkl. Schichtanalytik, Solarzellenherstellung und -charakterisierung (e) Verfahrensbewertung hinsichtlich Wirkungsgradsteigerung und Flächenskalierbarkeit