Das Projekt "Teilprojekt 3.3: Atmosphärische Passivierungstechnologie/ Metallisieren^Wachstumskern S-PAC - Verbundprojekt 3: Automatisierte, modulare Kompaktanlage zum Laserabtragen an siliziumbasierten Solarzellen^Teilprojekt 3.2: Entwicklung Abluft- und Reinigungstechnik^Teilprojekt 3.5: Entwicklung prozessintegrierter Laser-, Mess- und Prüfverfahren, Teilprojekt 3.1: Technologie- und Anlagenentwicklung zum Laserabtragen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: SITEC Industrietechnologie GmbH.