Da sie problematische nasschemische Verfahren abloesen koennen, gelten die Niedertemperaturplasmaverfahren als besonders umweltfreundlich. Eine Technikfolgenabschaetzung dieses neuen Technologiebereiches gibt es allerdings erst ansatzweise. Aus der Halbleiterfertigung gibt es Hinweise, dass das Wartungspersonal erbgutschaedigenden Gefahren ausgesetzt ist. Ziel des Projektes ist die Untersuchung von Kleinanlagen in mittelstaendischen Unternehmen sowie die Entwicklung eines Bio-Screening-Verfahrens.