Das Projekt "Teilvorhaben 2: Mikrosystemtechnologisches Konzept und Herstellung" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Stiftung Caesar durchgeführt. Vorhabenziel: Gesamtziel des Vorhabens: Die Entwicklung und die Herstellung von neuartigen ungekühlten Infrarot- (IR)-Sensoren für ein breites Anwendungsspektrum. Dabei sollen in einem bionischen Ansatz spezielle biologische IR-Rezeptoren von Insekten als Vorlage dienen, deren Funktionsprinzip in der Technik bisher nicht genutzt wird. Diese sog. 'photomechanischen' IR-Rezeptoren wurden bisher nur bei pyrophilen ('feuerliebende') Käfer der Gattung Melanophila sowie bei pyrophilen Wanzen der Gattung Aradus gefunden. Aufbauend auf den Ergebnissen des vorangegangenen Förderprojektes, 'Entwicklung eines Bionischen IR-Sensors nach dem Vorbild des Käfers der Gattung Melanophila' wollen wir in dem vorliegenden Antrag die Methode des 'Silicon Bulk Micromachining' weiter entwickeln und optimieren. Konkurrierend dazu soll der Sensor mit einer zweiten Methode, dem 'Silicon Surface Micromachining', entwickelt werden. Silicon Surface Micromachinig würde es erlauben, die Dimensionen des technischen Sensors wesentlich besser an das biologische Vorbild anzupassen. Arbeitsplanung: 1. AP: Technologische Optimierung des 'Silicon Bulk Micromachining'-Konzeptes 2. AP: Alternative Technologieentwicklung eines 'Silicon Surface Micromachining'-Konzeptes 3. AP: Sonstiges; in diesem Arbeitspaket werden die Planung der Verbundtreffen, Zwischenbegutachtung, Präsentationen und Berichte gezeigt.