Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)^Si- und Si-Ge-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendung (SiGe-TE)^Glancing Angle Deposition von Si-Ge-Nanosäulen^Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE), Si- und SiGe-Dünnfilme für thermoelektrische Anwendungen (SiGe-TE)

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