Die Firma CeramTec GmbH, Luitpoldstraße 15, 91207 Lauf a. d. Pegnitz hat beim Landratsamt Nürnberger Land die wesentliche Änderung der bestehenden immissionsschutzrechtlichen Genehmigung zur Errichtung und Betrieb einer Anlage zum Brennen keramischer Erzeugnisse mit einer Produktionskapazität von weniger als 75 Tonne je Tag beantragt.
Der Antrag betrifft die Errichtung und den Betrieb von zwei Ofenpaaren jeweils zum Entbindern und Drucksintern von Siliziumnitrid-Substraten. Damit soll eine Serienfertigung für Substrate aus Siliziumnitrid (Si3N4) aufgebaut werden.
In diesem Teilvorhaben wird die Entwicklung von PECVD (engl. plasma-enhanced chemical vapour deposition)-Beschichtungsverfahren für höchsteffiziente n-Typ-Emitter auf der Basis von in-situ-Plasmacharakterisierung sowie von PECVD-Beschichtungsprozessen für Antireflexschichten, die zusätzlich als Dotierstoffspender für lokale Dotierung fungieren. Weiterhin sollen Methoden zur hochaufgelösten mikrostrukturellen Charakterisierung von Siliziumnitrid-Schichten optimiert werden, mit dem Ziel, die Einflüsse eines PECVD-Prozesses auf die Schichtstruktur / Passiviereigenschaften besser bewerten zu können. Für die Bewertung neuer Schichtstrukturen werden zudem routinetaugliche Testverfahren für deren elektrische Charakterisierung hinsichtlich UV- und Temperaturdegradation entwickelt. Ziel ist die Entwicklung einer größer als /=23.5%-effizienten Solarzelle mit einseitiger passivierter Kontaktstruktur sowie die Evaluation und Entwicklung von Beschichtungsverfahren für passivierte Kontakte. Durch die Analyse von Degradationsmechanismen dünner oxydischer Schichten für die Anwendung an passivierten Kontakten wird auf Basis von Mikrostrukturcharakterisierung ein grundlegendes Verständnis zu den Prozesseinflüssen aufgebaut.