Das Projekt "KMU-innovativ - Semis: Sensitiver Mikroschalter, Teilvorhaben: Erkennungssystem" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung und Forschung. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik.Ziel des Gesamtvorhabens ordnet sich in das gesamtgesellschaftliche Bestreben nach höherer Energie- und Materialeffizienz ein und besteht in der Entwicklung neuartiger Zero-Power-Sensoren, die sich vorteilhaft in energieautarken Systemen einsetzen lassen. Im Teilvorhaben 'Erkennungssystem' soll auf Basis feuchtesensitiver Polymere die sensitive Erkennungsschicht für das Bimorph-Element entwickelt werden, das durch die wirkende Messgröße Feuchte die Schaltbewegung des Mikroschalters auslöst. Schwerpunkte der Entwicklung sind eine hohe Sensitivität, eine geringe Querempfindlichkeit, eine gute Langzeitstabilität und eine einfache Strukturierbarkeit. Das Teilvorhaben befasst sich mit Grundlagenuntersuchungen zu Polymeren, die im Gegensatz zu Hydrogelen bei Wasseraufnahme keine gravierende Verringerung des E-Moduls aufweisen und deshalb besser für den Einsatz in bimorphen Strukturen geeignet sind. Die z.B. bei Polyimid zu beobachtende Volumenänderung in Abhängigkeit von der umgebenden Luftfeuchte soll z.B. in einer bimorphen Struktur zu Verformungen führen, die ohne Zufuhr elektrischer Energie das Schließen oder Öffnen eines elektrischen Mikrokontaktes ermöglicht. Neben der Polymer-Optimierung (TUDD1) sind die Funktionsschichten zu charakterisieren (TUDD2), Strategien zu ihrer Integration zu erarbeiten (TUDD3), die Langzeitstabilität zu untersuchen (TUDD4) sowie die Funktion mit geeigneten Demonstratoren nachzuweisen (TUDD5).