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Keramische Hartstoffschichten bzw Materialien aus der Gasphase mit hoher Haftfestigkeit und mechanischer Festigkeit

Das Projekt "Keramische Hartstoffschichten bzw Materialien aus der Gasphase mit hoher Haftfestigkeit und mechanischer Festigkeit" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: NUKEM, Geschäftsbereich Solar- und Oberflächentechnik.Versuche zur Herstellung duenner Schichten aus SiN3, Zr2O3 und diamantenem Kohlenstoff

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