Das Projekt "Chemische Gassensoren in Duennschichttechnik" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Universität Tübingen, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Abteilung Analytische Chemie.Prototypen chemischer Sensoren sollen in Duennschicht-Technologie mit integrierter Heizung und Temperaturmessung hergestellt werden. Als Messprinzipien werden resistive, kapazitive und thermische Effekte der Sensor/Teilchen-Wechselwirkung ausgenutzt. Durch geeignete Wahl und Modifizierung der chemisch sensitiven Schichten auf den Prototyp-Grundstrukturen sollen Reproduzierbarkeit, Langzeitstabilitaet und Spezifitaet der Sensoren und Sensorarrays optimiert werden. Die Sensoren sollen zum selektiven Nachweis von Gasen wie CO2, O2, H2O, NOx, C und CH4 in Luft dienen.
Das Projekt "Herstellung von duennen kristallinen Silizium-Schichten aus der Gasphase fuer Solarzellen auf strukturierten Fremdsubstraten" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Berlin, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik.Eine Duennschicht-Silizium-Solarzelle zur Herstellung mit der Gasphasen-epitaxie wird entwickelt. Es werden kristalline Silizium Schichten oberhalb und unterhalb von 1100 Grad C abgeschieden. Als Substratmaterial wird die preisweite Al2O3-Keramik verwendet, die bei den hohen Temperaturen formbestaendig ist. Keramiken verschiedener Reinheit werden getestet. Durch eine Strukturierung des Subtrates soll die Qualitaet der Kristallschicht verbessert werden. Es wird eine geeignete ohmsche Kontaktierung fuer die Solarzelle entwickelt. Durch genaue Vermessung von Material-und Bauelementeigenschaften werden Schichten und Solarzellen charakterisiert. Mit Hilfe von Modellrechnungen werden Hinweise fuer die Optimierung der Solarzelle erarbeitet. In fertigungstauglichen Prozessschritten soll eine Duennschicht-Silizium Solarzelle mit einem Wirkungsgrad von 10 Prozent und 1 cm2 Flaeche hergestellt werden.
Das Projekt "Grundlagen der chemischen Sensorik mit Festkoerper-Ionenleitern, Phase II: Ueberfuehrung der Grundlagenerkenntnisse in anwendungsrelevante Ergebnisse, Verbundprojekt" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Universität Tübingen, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Abteilung Analytische Chemie.Mit ionenleitenden anorganischen Festkoerpern werden 'mikroionische' Sensoren bekannter Ionenleiter als Einkristalle, Duennschicht- und Dickschichtstrukturen hergestellt, phaenomenologisch und spektroskopisch charakterisiert und anschliessend optimiert. Andererseits werden neue Materialien ueber empirisches Screening fuer den Einsatz als Sensormaterial untersucht. Schwerpunkt in Tuebingen ist die atomistische Charakterisierung mit elektronen- und photonenspektroskopischen Methoden (SAM, EDX, SIMS, XPS, UPS, LEED, HREELS, ...).