Das Projekt "Chemische Gassensoren in Duennschichttechnik" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Universität Tübingen, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Abteilung Analytische Chemie.Prototypen chemischer Sensoren sollen in Duennschicht-Technologie mit integrierter Heizung und Temperaturmessung hergestellt werden. Als Messprinzipien werden resistive, kapazitive und thermische Effekte der Sensor/Teilchen-Wechselwirkung ausgenutzt. Durch geeignete Wahl und Modifizierung der chemisch sensitiven Schichten auf den Prototyp-Grundstrukturen sollen Reproduzierbarkeit, Langzeitstabilitaet und Spezifitaet der Sensoren und Sensorarrays optimiert werden. Die Sensoren sollen zum selektiven Nachweis von Gasen wie CO2, O2, H2O, NOx, C und CH4 in Luft dienen.