Das Projekt "Teilvorhaben: High-End Fotomasken für energieeffiziente Nanoelektronik (CoolMask)" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG durchgeführt. Ziel dieses Vorhabens ist es, für die sub40nm Maskentechnologien die für die Kantenrauhigkeitskontrolle und -reduktion benötigten metrologischen und prozesstechnischen Verfahren zu erforschen und später zur Verfügung zu stellen. Das AMTC folgt bei der Technologiebereitstellung dem internen Innovationsprozess. Die Arbeit wird in den verschiedenen Abteilungen des AMTC durchgeführt. Im Rahmen des Leitprojektes 1 des Exzellenzclusters Cool Silicon entwickeln die AMTC Mutterfirmen Qimonda und AMD energieeffiziente Chips. Der Beitrag der Maske zur Energieeinsparung in Chips ist die Kantenrauhigkeit (Eng.: Line-Edge-Roughness = LER) der Maskenstrukturen. Die Hauptaufgabe des AMTC ist die Erfüllung der vereinbarten Technologieroadmap zur Sicherstellung der Wettbewerbsfähigkeit der AMTC Partner sowie die Belieferung der Schlüsselkunden AMD, Qimonda und Toppan Photomasks Deutschland GmbH in Dresden mit Highend-Photomasken aus der Pilotproduktion. Das AMTC Geschäftsmodell sieht weiterhin den vollständigen Transfer einer Fertigungslinie an Toppan Photomasks Germany GmbH vor, sobald die Prozesse eine wirtschaftlich sinnvolle Maskenproduktion ermöglichen.