Das Projekt "CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität, Konzeptionelle Weiterentwicklung der CIS-Abscheidung und Umsetzung und Nachweis einer hohen Produktivität im CIS-Prozess und damit für die gesamte Pilotlinie" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Würth Solar GmbH & Co.KG.
Das Projekt "CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität, CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg.
Das Projekt "CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität, CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Von-Ardenne-Anlagentechnik GmbH.
Das Projekt "Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien.Verbesserung des Wirkungsgrades der MIS-Inversionsschicht-Solarzelle, insbesondere der Parameter Leerlaufspannung und Fuellfaktor. Als neue Verfahrensschritte sind die Kurzzeitoxidation ueber 650 Grad Celsius zur Erzeugung eines verbesserten Tunneloxid am MIS-Kontakt, das Einlegieren des Aluminium-Rueckkontakts in Verbindung mit diesem RTO-Prozess und die Nutzung quantifiziert aufgebrachter statischer Oberflaechenladungen im Solarzellenaufbau bzw in der zugehoerigen elektrischen Messtechnik vorgesehen. Dazu gehoert auch die vertiefte Analyse ohmscher Verluste am Rueckkontakt.
Das Projekt "Fortgeschrittene MIS-Zellentechnik^Teilvorhaben: Verbesserung von Inversionsschichtsolarzellen durch neuartige MIS-Kontakte, Teilvorhaben: Neue Verfahren zur Erhoehung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Chemnitz, Institut für Physik.Fuer die Herstellung von MIS-Inversionsschichtsolarzellen wurden neue Verfahrensschritte (Rapid-Thermal-Processing) eingesetzt. Insbesondere wurden folgende Arbeiten durchgefuehrt: - Herstellung eines qualitativ hochwertigen Tunnelisolators (Si-Oxid, Si-Oxynitrid) im Temperaturbereich 700 C bis 900 C durch RTP; - Untersuchungen zum Einlegieren des Al-Rueckseitenkontaktes und die Auswirkungen auf die Parameter von MIS-Solarzellen; - Optimierung von technologischen Prozessen zur Herstellung von MIS-Zellen. Mit dieser Technologie konnten MIS-Inversionsschichtsolarzellen hergestellt werden. Dabei wurde bei der Verwendung von texturiertem Cz-Si ein Wirkungsgrad von 16,2 Prozent erreicht (I(ind=sc)=35,3 mA/cm2, U(ind=oc)=600 mV, FF= 76,4 Prozent). Mit dem Einsatz von Si-Oxynitrid als Tunnelisolator wird die Temperaturstabilitaet des MIS-Tunnelkontakts (bis zu 350 C) wesentlich verbessert.