Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.
Origin | Count |
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Bund | 1 |
Type | Count |
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Förderprogramm | 1 |
License | Count |
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offen | 1 |
Language | Count |
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Deutsch | 1 |
Resource type | Count |
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Keine | 1 |
Topic | Count |
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Mensch & Umwelt | 1 |
Weitere | 1 |