Das Vorhabenziel ist die Einsparung von hochwertigen Primärenergieträgern bei der Beheizung von Hochtemperatur-Prozessanlagen. Durch neuartige und verbesserte Brenner- und Wärmerückgewinnungssysteme wird der energieeffiziente Einsatz von heizwertärmeren Prozess- und Sekundärgasen erreicht. Neue Flachflammenbrenner mit regenerativer Brennluftvorwärmung werden betriebstauglich entwickelt und an einem kleinen Ofen erprobt. Darauf basierend wird ein Regelungskonzept mit hohen Anforderungen an die Betriebssicherheit entwickelt, an einem größeren Schmiedeofen umgesetzt und im Betrieb optimiert. Für den Einsatz mit Prozess- und Sekundärgasen werden diese Brenner sodann erweitert und durch experimentelle Untersuchungen abgesichert. Die Vorwärmung von heizwertarmen Brenngasen wird untersucht und dieses mit den neuen Brennern an einem industriellen prozessgasbeheizten Ofen umgesetzt. Das neue Beheizungssystem (Flachflammenbrenner mit Brennmedienvorwärmung) kann an vielen Öfen eingesetzt werden mit dem Ziel Primärenergieeinsparung bei hoher Produktqualität. Die Zusammenarbeit der Projektpartner sichert den Projekterfolg und die weite Verbreitung der Ergebnisse.
Das Vorhabenziel ist die Einsparung von hochwertigen Primärenergieträgern bei der Beheizung von Hochtemperatur-Prozessanlagen. Durch neuartige und verbesserte Brenner- und Wärmerückgewinnungssysteme wird der energieeffiziente Einsatz von heizwertärmeren Prozess- und Sekundärgasen erreicht. Neue Flachflammenbrenner mit regenerativer Brennluftvorwärmung werden betriebstauglich entwickelt und an einem kleinen Ofen erprobt. Darauf basierend wird ein Regelungskonzept mit hohen Anforderungen an die Betriebssicherheit entwickelt, an einem größeren Schmiedeofen umgesetzt und im Betrieb optimiert. Für den Einsatz mit Prozess- und Sekundärgasen werden diese Brenner sodann erweitert und durch experimentelle Untersuchungen abgesichert. Die Vorwärmung von heizwertarmen Brenngasen wird untersucht und dieses mit den neuen Brennern an einem industriellen prozessgasbeheizten Ofen umgesetzt. Das neue Beheizungssystem (Flachflammenbrenner mit Brennmedienvorwärmung) kann an vielen Öfen eingesetzt werden mit dem Ziel Primärenergieeinsparung bei hoher Produktqualität. Die Zusammenarbeit der Projektpartner sichert den Projekterfolg und die weite Verbreitung der Ergebnisse.
Das Vorhabenziel ist die Einsparung von hochwertigen Primärenergieträgern bei der Beheizung von Hochtemperatur-Prozessanlagen. Durch neuartige und verbesserte Brenner- und Wärmerückgewinnungssysteme wird der energieeffiziente Einsatz von heizwertärmeren Prozess- und Sekundärgasen erreicht. Neue Flachflammenbrenner mit regenerativer Brennluftvorwärmung werden betriebstauglich entwickelt und an einem kleinen Ofen erprobt. Darauf basierend wird ein Regelungskonzept mit hohen Anforderungen an die Betriebssicherheit entwickelt, an einem größeren Schmiedeofen umgesetzt und im Betrieb optimiert. Für den Einsatz mit Prozess- und Sekundärgasen werden diese Brenner sodann erweitert und durch experimentelle Untersuchungen abgesichert. Die Vorwärmung von heizwertarmen Brenngasen wird untersucht und dieses mit den neuen Brennern an einem industriellen prozessgasbeheizten Ofen umgesetzt. Das neue Beheizungssystem (Flachflammenbrenner mit Brennmedienvorwärmung) kann an vielen Öfen eingesetzt werden mit dem Ziel Primärenergieeinsparung bei hoher Produktqualität. Die Zusammenarbeit der Projektpartner sichert den Projekterfolg und die weite Verbreitung der Ergebnisse.
Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.
Ziel des zur Förderung vorgeschlagenen Projektes ist die Entwicklung eines industriell einsetzbaren On-line-Lasermassenspektrometer-Prototyps (REMPI-TOFMS) für den produktionsintegrierten Umweltschutz und schnellanalytische Fragestellungen. Die REMPI-TOFMS-Technik erlaubt beispielsweise eine kontinuierliche Analyse von Prozessindikatoren (z. B. prozessabhängige Schadstoffe) in komplexen Prozessgasen. Die Entwicklung soll in einem Verbund von Forschungsinstitutionen mit kleinen/mittelständischen Firmen aus dem Hochtechnologie-Sektor durchgeführt werden. Von den Projektteilnehmern ist Entwicklungsarbeit in den Bereichen Probennahmetechnik, Einlasstechnik, Lasertechnik, Massenspektrometrie, Systemintegration und Anwendungsanpassung zu erbringen. Weiterhin sollen mit der entwickelten REMPI-TOFMS-Messtechnik sowie mit konventionellen analytischen Methoden Messkampagnen zum Themenschwerpunkt Altholzverwertung durchgeführt werden. Mit dem Ende der Förderung soll eine Kommerzialisierung des entwickelten REMPI-TOFMS-Prozessgasanalysators erreicht werden.