Das Projekt "Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C), Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut.Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.