Das Projekt "Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren (Fertigungsverfahren/-techniken) zur Silicium-Beschichtung von grossflaechigen Substraten" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Hochschule Aachen, Institut für Eisenhüttenkunde.Im Rahmen dieses Forschungsvorhabens wird zur Siliciumbeschichtung von verschiedenen Substratmaterialien (zB Glas, Aluminium, Edelstahl usw) die Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren und -techniken unter Anwendung von elektrodenlosen Plasma-Brennern ('Plasma-Guns') in verschiedenen Gasatmosphaeren (zB Wasserstoff, Inertgas usw) im Unterdruckbereich (1 bis 100 mbar) mit moeglichst schnellen und hoeheren Durchsaetzen und Siliciumabscheideraten angestrebt. Zur Verbesserung der Schichtqualitaeten wird die Anwendungsmoeglichkeit von HF-Plasma-Brennern zur thermischen Nachbehandlung von Siliciumschichten in der Spritzkammer ueberprueft. Zusaetzlich sollen die verschiedenen Versuchsparameter wie Gasdruck, -durchsaetze, Plasma- und Substrattemperaturen, -materialien, verschiedene Reinigungsbedingungen der Substratmaterialien und die verschiedenen technologischen Parameter wie Regelung, Steuerung und genauere Prozessdatenerfassung usw untersucht werden.