Das Projekt "SIMPLEX: Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz. Es wird/wurde ausgeführt durch: Sentech Instruments GmbH.Innerhalb des Verbundprojekts SIMPLEX (Simulation und Experiment: Plasmabeschichtungen von passiven Schichtsystemen auf c-Si-Solarzellen) trägt SENTECH mit der ALD-Beschichtung ein Verfahren bei, welches für die kontourtreue und dichte Abscheidung auch im Monolagenbereich bekannt ist. Damit kann die PECVD der Partner hinsichtlich erreichbarer Eigenschaften (Schichtdichte, chemische Zusammensetzung u.a.) verglichen werden. Der zweite Beitrag im Projekt ist die exsitu Charakterisierung im breiten Spektralbereich mit spektroskopischer Ellipsometrie, auch im mittleren Infrarot (Schwingungsbanden). Insgesamt zielt das Teilprojekt 'Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten' auf die Analyse des Wachstums von Schichten im Bereich von 1 nm ...10 nm mittels der PECVD ab. Das Abscheiden so dünner geschlossener Schichten ist eine prozesstechnische Herausforderung, bei der das Monitoring des Plasmas durch die Projektpartner durch die Ellipsometrie mit einem Monitoring des generierten Produktes ergänzt werden soll. Mit diesem Monitoring soll zum einen der Abscheideprozess erforscht werden: Wann wird wieviel abgeschieden und was entsteht? 1. Schichtabscheidung, 2. Simulation, 3. In-situ-Charakterisierung, 4. Ex-situ-Charakterisierung.
Das Projekt "Forschungsarbeiten zum Einsatz dünner Schichten in Verbindung mit innovativen Abscheidetechnologien in der Photovoltaikindustrie (Aladin)" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Q-Cells SE.Im Rahmen des Aladin-Projektes arbeiteten der Technologieführer Hanwha Q-Cells und die Technische Universität Eindhoven (TU/e) erfolgreich zusammen, um die Abscheidung von Aluminiumoxid(Al2O3)-Schichten mittels ALD(Atomic-Layer-Deposition)-Technologie auf kristallinen Siliciumsolarzellen zu untersuchen. So konnte ein enormer Wirkungsgradzugewinn gegenüber Standardsolarzellen (2,4 Prozent absolut) realisiert und demonstriert werden. Die Forschungsergebnisse des Projektes finden Anwendung in einer dielektrischen Rückseitenpassivierung von industriell gefertigten Hochleistungssolarzellen bei Hanwha Q-Cells.