Das Projekt "Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Sentech Instruments GmbH durchgeführt. Innerhalb des Verbundprojekts SIMPLEX (Simulation und Experiment: Plasmabeschichtungen von passiven Schichtsystemen auf c-Si-Solarzellen) trägt SENTECH mit der ALD-Beschichtung ein Verfahren bei, welches für die kontourtreue und dichte Abscheidung auch im Monolagenbereich bekannt ist. Damit kann die PECVD der Partner hinsichtlich erreichbarer Eigenschaften (Schichtdichte, chemische Zusammensetzung u.a.) verglichen werden. Der zweite Beitrag im Projekt ist die exsitu Charakterisierung im breiten Spektralbereich mit spektroskopischer Ellipsometrie, auch im mittleren Infrarot (Schwingungsbanden). Insgesamt zielt das Teilprojekt 'Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten' auf die Analyse des Wachstums von Schichten im Bereich von 1 nm ...10 nm mittels der PECVD ab. Das Abscheiden so dünner geschlossener Schichten ist eine prozesstechnische Herausforderung, bei der das Monitoring des Plasmas durch die Projektpartner durch die Ellipsometrie mit einem Monitoring des generierten Produktes ergänzt werden soll. Mit diesem Monitoring soll zum einen der Abscheideprozess erforscht werden: Wann wird wieviel abgeschieden und was entsteht? 1. Schichtabscheidung, 2. Simulation, 3. In-situ-Charakterisierung, 4. Ex-situ-Charakterisierung.
Das Projekt "Teilprojekt: Entwicklung und Anpassung der Photokatalysatorabscheidung und Aufbau photokatalytischer In-situ-Analytik" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik durchgeführt. Im Rahmen des Gesamtvorhabens wird ein photokatalytisches Reinigungssystem für industrielle und kommunale Abwässer auf Basis der photokatalytischen Oxidation entwickelt, um ein wirtschaftliches und marktfähiges Verfahren zur Aufbereitung von Wasser für ausgewählte Szenarios zu realisieren. Das Reaktorkonzept soll hierbei in eine standardisierbare Messumgebung für photokatalytische Wirksamkeitsanalytik überführt werden. Das Fraunhofer IST bearbeitet in seinem Teilprojekt die Herstellung und Anwendung photokatalytisch aktiver Schichtsysteme innerhalb eines Reaktorsystems zur photokatalytischen Wasserreinigung sowie die Erstellung eines Normentwurfes oder einer technischen Spezifikation zur standardisierten Verwendung dieses Reaktorsystems, um erstmalig eine anwendungsnahe photokatalytische Wirksamkeitsanalytik im Bereich der definierten Wasserreinigungsszenarien entwickeln zu können. Der Fokus der photokatalytischen Schichtabscheidung besteht hierbei in der Anwendung von thermischer Atomlagenabscheidung als potenzielle Beschichtungstechnologie und als 'enabling technology' zur Herstellung von Reaktorkomponenten mit hoher aktiver Oberfläche zur direkten Oxidation von Schadstoffen in Wasser.
Das Projekt "Forschungsarbeiten zum Einsatz dünner Schichten in Verbindung mit innovativen Abscheidetechnologien in der Photovoltaikindustrie (Aladin)" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Q-Cells SE durchgeführt. Im Rahmen des Aladin-Projektes arbeiteten der Technologieführer Hanwha Q-Cells und die Technische Universität Eindhoven (TU/e) erfolgreich zusammen, um die Abscheidung von Aluminiumoxid(Al2O3)-Schichten mittels ALD(Atomic-Layer-Deposition)-Technologie auf kristallinen Siliciumsolarzellen zu untersuchen. So konnte ein enormer Wirkungsgradzugewinn gegenüber Standardsolarzellen (2,4 Prozent absolut) realisiert und demonstriert werden. Die Forschungsergebnisse des Projektes finden Anwendung in einer dielektrischen Rückseitenpassivierung von industriell gefertigten Hochleistungssolarzellen bei Hanwha Q-Cells.