Presse KORREKTUR : Potenzieller Treibhauseffekt verwendeter fluorierter Treibhausgase seit 2015 um 35 % gesunken EU-Verordnung zur Reduktion der CO 2 -Äquivalente zeigt Wirkung Seite teilen Pressemitteilung Nr. 468 vom 10. Dezember 2019 WIESBADEN – Der potenzielle Treibhauseffekt der im Jahr 2018 in Deutschland eingesetzten fluorierten Treibhausgase (FKW, HFKW, Blends) ist gegenüber 2017 um fast 19 % und gegenüber 2015 sogar um 35 % gesunken. Wie das Statistische Bundesamt (Destatis) zur UN-Klimakonferenz vom 2. bis 13. Dezember in Madrid mitteilt, ist die Ursache für diesen Rückgang der Umstieg von hochwirksamen fluorierten Treibhausgasen auf solche mit niedrigerem Treibhauspotenzial nach der F-Gas-Verordnung der Europäischen Union (Verordnung (EU) Nr. 517/2014). Der Einsatz der verwendeten Treibhausgase lag 2017 bei rund 9 390 metrischen Tonnen und reduzierte sich 2018 auf rund 8 223 metrische Tonnen (-12,4%) . Gemessen in CO 2 -Äquivalenten sank 2018 die eingesetzte Menge von 13,8 Millionen Tonnen (Jahr 2017) auf 11,2 Millionen Tonnen, woraus sich der Rückgang des potenziellen Treibhauseffekts um 18,9 % ergibt. Klimawirksame Stoffe nehmen Einfluss auf die Erderwärmung und tragen zur Klimaveränderung bei. Da diese Stoffe überwiegend in geschlossenen Systemen wie zum Beispiel in Klimaanlagen verwendet werden, tritt eine Gefährdung erst mittel- bis langfristig bei der Freisetzung in die Atmosphäre auf. Daher werden diese Stoffe auch als potenziell emissionsrelevant bezeichnet. Der Einfluss der einzelnen Treibhausgase auf die Klimaveränderung ist unterschiedlich hoch. Als Vergleichsgröße dient die Klimawirksamkeit von Kohlendioxid (CO 2 ) mit einem Erwärmungspotenzial (CO 2 -Äquivalente) von 1. Am häufigsten verwendetes fluoriertes Treibhausgas 1 430 Mal klimawirksamer als CO 2 R 134a (Tetrafluormethan) ist das am häufigsten verwendete fluorierte Treibhausgas in Deutschland. Der Stoff trägt in einem Zeithorizont von 100 Jahren 1 430 Mal stärker zum Treibhauseffekt bei als CO 2 . 2018 wurden rund 3,3 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalente R 134a überwiegend als Kältemittel zum Beispiel in Klimaanlagen oder Kühlschränken eingesetzt. Im Vergleich zu 2017 (3,9 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalente) verminderte sich das Emissionspotenzial dieses Stoffes bei seiner Verwendung als Kältemittel um rund 13,4 %. Auch beim Einsatz als Treibmittel zur Herstellung von Kunst- und Schaumstoffen, wie zum Beispiel in aufgeschäumten Dämmplatten zur Wärmedämmung von Gebäuden, wurde durch den Umstieg auf Ersatzstoffe mit geringerer Klimawirksamkeit deutlich weniger R 134a ( -40,2 % ) eingesetzt. Das Umweltbundesamt hat für 2017 Treibhausgasemissionen in Höhe von insgesamt 907 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalenten errechnet. Der Anteil der fluorierten Treibhausgase (FKW, HFKW, Blends) daran belief sich auf 1,2 %. Kontakt für weitere Auskünfte Statistiken der Wasserwirtschaft und der klimawirksamen Stoffe Telefon: +49 611 75 8950 Zum Kontaktformular Zum Thema Klimawirksame Stoffe
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Das Fraunhofer EMFT optimiert zusammen mit Solvay die F2/Ar/N2 -Gasmischungen und transferiert über den Projektzeitraum die entsprechenden F2-Reinigungs-Prozessrezepte zu Texas Instruments (TI). Darüber hinaus unterstützt das Fraunhofer EMFT TI beim Einfahren der F2/Ar/N2 -Gemische als Reinigungsgas auf den CVD Pilot-Anlagen bei TI in Freising. Zeitgleich wird im Rahmen des Projektes am Fraunhofer EMFT eine kostengünstige Remote Plasmaquelle (Muegge GmbH) für den Einsatz an in Deutschland und Europa bestehenden CVD-Anlagen getestet. In Phase 1 wird das neue umweltfreundliche Verfahren auf verschiedenen Maschinentypen optimiert und validiert, welche anschließend in Phase 2 im Produktionsumfeld betrieben werden. Die industrielle Einführung dieser Prozesse, um in Phase 2 TRL 8 zu erreichen, ist aufwendig und anspruchsvoll, da für eine gleichbleibend hohe Ausbeute an Bauelementen sämtliche Fehlerquellen ausgeschlossen werden müssen.
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz.
Presse Potenzieller Treibhauseffekt verwendeter fluorierter Treibhausgase 2019 um 14 % gegenüber dem Vorjahr gesunken Anwender steigen auf fluorierte Treibhausgase mit niedrigerem Treibhauspotenzial um Seite teilen Pressemitteilung Nr. 038 vom 28. Januar 2021 WIESBADEN – Der potenzielle Treibhauseffekt der im Jahr 2019 in Deutschland eingesetzten fluorierten Treibhausgase (FKW, HFKW, Blends) ist gegenüber 2018 um fast 14 % und gegenüber 2015 sogar um 44 % gesunken. Dies zeigt, dass die Anwender fluorierte Treibhausgase mit hohem Treibhauspotenzial verstärkt durch weniger klimaschädliche Gase ersetzen, wie dies die F-Gas-Verordnung der Europäischen Union von 2014 vorgibt. Wie das Statistische Bundesamt weiter mitteilt, wurden 2019 rund 7 313 metrische Tonnen Treibhausgase verwendet, das waren 11,1 % weniger als 2018 (8 223 metrische Tonnen). Gemessen in CO 2 -Äquivalenten sank die eingesetzte Menge von 11,2 Millionen Tonnen im Jahr 2018 auf 9,6 Millionen Tonnen im Jahr 2019. Klimawirksame Stoffe beeinflussen die Erderwärmung und tragen zur Klimaveränderung bei. Da diese Stoffe überwiegend in geschlossenen Systemen wie zum Beispiel in Klimaanlagen verwendet werden, tritt eine Gefährdung erst mittel- bis langfristig bei der Freisetzung in die Atmosphäre auf. Daher werden diese Stoffe auch als potenziell emissionsrelevant bezeichnet. Der Einfluss der einzelnen Treibhausgase auf die Klimaveränderung ist unterschiedlich. Als Vergleichsgröße dient die Klimawirksamkeit von Kohlendioxid (CO 2 ) mit einem Erwärmungspotenzial (CO 2 -Äquivalente) von 1. Meistverwendetes fluoriertes Treibhausgas ist 1 430 Mal klimawirksamer als CO 2 R 134a (Tetrafluormethan) ist das am häufigsten verwendete fluorierte Treibhausgas in Deutschland. Der Stoff trägt in einem Zeithorizont von 100 Jahren 1 430 Mal stärker zum Treibhauseffekt bei als CO 2 . 2019 wurden rund 3,9 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalente R 134a eingesetzt, überwiegend als Kältemittel zum Beispiel in Klimaanlagen, Kühlschränken oder als Treibmittel zur Herstellung von Kunst- und Schaumstoffen, wie zum Beispiel in aufgeschäumten Dämmplatten zur Wärmedämmung von Gebäuden. Im Vergleich zu 2018 (4,9 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalente) verminderte sich das Emissionspotenzial der eingesetzten Menge dieses Stoffes um 21,5 %. Das Umweltbundesamt hat für 2019 Treibhausgasemissionen in Höhe von insgesamt 805 Millionen Tonnen CO 2 -Äquivalenten errechnet. Der Anteil der fluorierten Treibhausgase (FKW, HFKW, Blends) daran belief sich auf 1,8 %. Das Statistische Bundesamt ist jetzt auch auf Instagram. Folgen Sie uns! Kontakt für weitere Auskünfte Statistiken der Wasserwirtschaft und der klimawirksamen Stoffe Telefon: +49 611 75 8950 Zum Kontaktformular Zum Thema Klimawirksame Stoffe
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf F2/Ar/N2-Mischungen basierter Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD)-Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesen Fluor-Gasgemischen (hoher N2-Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC) wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-in-Replacement). Die derzeit technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD-Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP)-Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor der F2/Ar/N2-Mischungen ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Die Muegge GmbH wird eine auf die Projektbedürfnisse hin modifizierte 2,45 GHz Remote-Plasmaquelle bereitstellen und die Fraunhofer EMFT bei der Optimierung des Reinigungsprozesses mit F2/Ar/N2/-Mischungen bis hin zum Proof-of-Concept unterstützen. In der 2. Phase besteht die Aufgabe von Muegge darin, die 2,45 GHz Remote-Plasmaquelle auf weitere Anlagen und Prozesse anzupassen und sie auf Basis der mit der Fraunhofer EMFT erzielten Reinigungsprozessoptimierung zu standardisieren.
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Zu Beginn der Phase 1 werden bei TI in Freising Installationsarbeiten durchgeführt, die die Evaluierung der F2/Ar/N2 Mischungen an 3 verschiedenen Anlagentypen ermöglichen. Basierend auf den vorliegenden Ergebnissen werden dann in der zweiten Hälfte der Phase 1 Versuche auf Testwafern durchgeführt, mit dem Ziel, fertigungstaugliche Reinigungsprozesse zu definieren. In Phase 2 werden diese Reinigungsprozesse gemäß den bei TI üblichen Verfahrensweisen in die Produktion überführt und daran anschließend deren Effizienz über einen längeren Zeitraum überwacht und dokumentiert.
Projektziel ist die Entwicklung einer lichtbogenbeheizten, strahlungsgekühlten, thermischen Wasserdampfplasmaanlage zur Behandlung von PFC-haltigen Abluftströmen. Durch die Minimierung von Abwärmeverlusten bei gleichzeitig hoher Reaktionstemperatur von über 2500 K in der Plasmazone soll der Energiebedarf um 25-30% reduziert und der Wirkungsgrad auf über 95% für alle PFCs (inkl. CF4 bzw. SF6) gegenüber kommerziellen Plasmen angehoben werden.
BRD -Schmelzflusselektrolyse (Primär- bzw. Hüttenaluminium) aus Tonerde mittels Schmelzflußelektrolyse (Hall-Heroult-Prozeß). Werte für CF4- und C2F6-Emissionen aktualisiert nach Ref. Öko-Recherche 1996. Allgemeines Verfahren ist die Elekrolyse der Tonerde (Al2O3) in Kryolithschmelzen (Na3AlF6). Kryolith wird im Prozeß zur Schmelzpunkterniedrigung (auf ca. 950 oC) benötigt. Kryolithverluste werden durch Zugabe von Aluminiumfluorid (AlF3) ausgeglichen (WIKUE 1995b). Das elektrolytisch gebildete Aluminium setzt sich am kathodischen Boden der Elektrolysezelle ab. Der Sauerstoffanteil der eingesetzten Tonerde verbindet sich mit dem Kohlenstoff der Anoden zu Kohlendioxid und Kohlenmonoxid. Durch den Schwefelgehalt des eingesetzten Anodenmaterials werden weiterhin Schwefeldioxidemissionen freigesetzt. Weitere wichtige Emissionen bei der Schmelzflußelektrolyse sind Staub sowie Fluorwasserstoff. Das Ausmaß der Emissionen ist von der konkreten Technik der Anlage und der Effizienz der Abgasreinigung abhängig. Schließlich werden bei der Schmelzflußelektrolyse Tetrafluormethan (CF4) und Hexafluorethan (C2F6) emittiert (#2), die als langlebige und extrem potente Treibhausgase bekannt sind. Die einzelnen Anlagen unterscheiden sich vor allem durch die eingesetzte Technologie der Elektrolysezellen. Es wird unterschieden in pre-bake- und Söderberg-Zellen, von welchen wiederum diverse Untervarianten existieren (Huglen 1990). Genese der Daten: Die Daten (pro t Alu) für die Einsatzstoffe Tonerde (1900 kg), Anoden (430 kg) und Aluminiumfluorid (18 kg) sowie der Hilfsenergie Heizöl EL (3825 MJ) sind #1 entnommen. Der Wert für den Stromverbrauch der bundesdeutschen Schmelzelektrolysen (13400 kWh = 48240 MJ/t) geht auf #3 zurück und trägt den vergleichsweise modernen Elektrolyseöfen in der Bundesrepublik Rechnung (vgl. z.B. GUS -Schmelzflußelektrolyse). Die Emissionsfaktoren für Schwefeldioxid (10 kg), Kohlenmonoxid (110 kg) und Fluorwasserstoff (0,04 kg) gehen auf Messungen nach #2 an einer deutschen Primäraluminiumhütte mit moderner prebake-Technologie zurück, die einen bedeutenden Anteil der inländischen Produktionskapazität abdeckt. Die Meßwerte werden als repräsentativ für die bundesdeutsche Produktion erachtet und daher für GEMIS übernommen. Weiterhin werden basierend auf #2 die Daten für Kohlendioxid auf 1400 kg/t gesetzt. Die Emissionen für Tetrafluormethan (0,25 kg) und Hexafluorethan (0,025 kg) beruhen auf (WiMe 1999) und spiegeln die Fortschritte der Emissionsminderung dieser Treibhausgase in der Aluminiumindustrie wieder. Der Emissionswert für Staub (1,36 kg) aus #1 wird auf die deutsche Produktion übertragen. Die Kennziffer für die Gesamtabfallmenge (35,7 kg) stammt aus #3. Nicht abgebrannte Anodenreste sind dabei nicht berücksichtigt, da sie bei der Anodenherstellung wieder eingesetzt werden. Tetrafluormethan (0,75 kg) und Hexafluorethan (0,11 kg) Auslastung: 5000h/a Brenn-/Einsatzstoff: Rohstoffe gesicherte Leistung: 100% Jahr: 2005 Lebensdauer: 20a Leistung: 1t/h Nutzungsgrad: 52,6% Produkt: Metalle - NE
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