Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Das Fraunhofer EMFT optimiert zusammen mit Solvay die F2/Ar/N2 -Gasmischungen und transferiert über den Projektzeitraum die entsprechenden F2-Reinigungs-Prozessrezepte zu Texas Instruments (TI). Darüber hinaus unterstützt das Fraunhofer EMFT TI beim Einfahren der F2/Ar/N2 -Gemische als Reinigungsgas auf den CVD Pilot-Anlagen bei TI in Freising. Zeitgleich wird im Rahmen des Projektes am Fraunhofer EMFT eine kostengünstige Remote Plasmaquelle (Muegge GmbH) für den Einsatz an in Deutschland und Europa bestehenden CVD-Anlagen getestet. In Phase 1 wird das neue umweltfreundliche Verfahren auf verschiedenen Maschinentypen optimiert und validiert, welche anschließend in Phase 2 im Produktionsumfeld betrieben werden. Die industrielle Einführung dieser Prozesse, um in Phase 2 TRL 8 zu erreichen, ist aufwendig und anspruchsvoll, da für eine gleichbleibend hohe Ausbeute an Bauelementen sämtliche Fehlerquellen ausgeschlossen werden müssen.
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf F2/Ar/N2-Mischungen basierter Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD)-Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesen Fluor-Gasgemischen (hoher N2-Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC) wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-in-Replacement). Die derzeit technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD-Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP)-Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor der F2/Ar/N2-Mischungen ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Die Muegge GmbH wird eine auf die Projektbedürfnisse hin modifizierte 2,45 GHz Remote-Plasmaquelle bereitstellen und die Fraunhofer EMFT bei der Optimierung des Reinigungsprozesses mit F2/Ar/N2/-Mischungen bis hin zum Proof-of-Concept unterstützen. In der 2. Phase besteht die Aufgabe von Muegge darin, die 2,45 GHz Remote-Plasmaquelle auf weitere Anlagen und Prozesse anzupassen und sie auf Basis der mit der Fraunhofer EMFT erzielten Reinigungsprozessoptimierung zu standardisieren.
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Zu Beginn der Phase 1 werden bei TI in Freising Installationsarbeiten durchgeführt, die die Evaluierung der F2/Ar/N2 Mischungen an 3 verschiedenen Anlagentypen ermöglichen. Basierend auf den vorliegenden Ergebnissen werden dann in der zweiten Hälfte der Phase 1 Versuche auf Testwafern durchgeführt, mit dem Ziel, fertigungstaugliche Reinigungsprozesse zu definieren. In Phase 2 werden diese Reinigungsprozesse gemäß den bei TI üblichen Verfahrensweisen in die Produktion überführt und daran anschließend deren Effizienz über einen längeren Zeitraum überwacht und dokumentiert.
Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz.
Projektziel ist die Entwicklung einer lichtbogenbeheizten, strahlungsgekühlten, thermischen Wasserdampfplasmaanlage zur Behandlung von PFC-haltigen Abluftströmen. Durch die Minimierung von Abwärmeverlusten bei gleichzeitig hoher Reaktionstemperatur von über 2500 K in der Plasmazone soll der Energiebedarf um 25-30% reduziert und der Wirkungsgrad auf über 95% für alle PFCs (inkl. CF4 bzw. SF6) gegenüber kommerziellen Plasmen angehoben werden.
4427500 4428000 4428500 4429000 4429500 4430000 4430500 5833500 5833500 Managementplan für das FFH-Gebiet R16 "Ohreaue" # FFH0275LSA (DE 3331 302) 5833000 5833000 # S # ³ Karte 6d: Sonstige wertgebende Tierarten R16 # Tut Probeflächen und Fundpunkte / Blatt 3 # # H24 # ³ 250 PF 9 # PF 10 5832500 Maßstab 1 : 10.000 0 250 500 750 1000 Meter 5832500 # # R15 Auftraggeber: # S # S Olvenstedter Straße 10 # Bk # 39108 Magdeburg Ga # S Re BUND Sachsen-Anhalt Arbeitsgruppe Land & Wasser Auftragnehmer: # Am Amtshof 18 # S # S # S 29355 Beedenbostel Swk # 5832000 Bk # S # H23 # NaNa # # S R9 # # # H15 NaNa # Z$ V& · # # A17 # (www.lvermgeo.sachsen-anhalt.de) R15 Mit Genehmigung des LAU LSA vom 16.04.2013 Re H22 # 5831500 R15 # # # Legende S4 NyAn # Geobasisdaten © LVermGeo LSA # L16 R10 Topographische Karte 1:10.000 (TK 10) Kartengrundlage: Swk R9 # # A17 Kr # August 2014 geändert Dezember 2015 Re Bk # Datum der Ausfertigung: Bk # # H15 # 5831500 # S S # 5832000 # # / LiVu, RaTe, RaEs # # H16 FFH-Gebiet # R17 Auftragsgebiet 5831000 5831000 Gewässerfläche H25 # # S # Re # H26 # ³ # R18 # PF 13 Direkte Artnachweise mit Fundpunkten Fundpunkte der sonstigen wertgebenden Arten mit Artenkürzel # S 5830500 # R11 Wh # F4 5830500 # # Re # S # S # H17 # S $Z V& # / Vögel Reptilien Amphibien Tagfalter (nur Zufallsfunde) # Wh Verwendete Artkürzel: Amphibien 5830000 5830000 BuBuErdkröte IcAlBergmolch LiVuTeichmolch RaEsTeichfrosch RaTeGrasfrosch Blatt 1 Brutvögel # ·³ PF 7 # # S2 # · S1 # L17 M2 L18 # # # M1 F3 5829500 5829500 # # S3 # · # Ki A10 PF 11 #³ / # Wz # # S # BrIn # # # S S # # # # Ki A11 L20 Gü # S Grünspecht KiKiebitz KrKrickente MbMäusebussard ReRebhuhn Blatt 2 RwRaubwürger SrSchilfrohrsänger SwkSchwarzkehlchen TrTeichhuhn TutTurteltaube WhWendehals WrWasserralle WkWaldkauz NaNa L19 Ringelnatter Tagfalter # S 5829000 # # Gr Gartenrotschwanz Gü Reptilien # H18 R12 Grauammer Gr A10 H19 5829000 Braunkehlchen Ga # # A10 # Bk # Gü LeCaKleine Eisvogel ApIlKleiner Schillerfalter MeAtWachtelweizen-Scheckenfalter BrInMädesüß-Perlmutterfalter NyAnTrauermantel Blatt 3 Blattschnitt # S # # # A12 Darstellung von Fauna-Probeflächen mit Nummer 5828500 5828500 PF 8 # ³ Punktuelle Probeflächen der sonstigen wertgebenden Arten mit Nummer # R13 # ³ # · # # Arten der Laufkäfer und weitere Arten aus der Ordnung Coleoptera (Vorkommende Arten siehe Tab. 124) Probeflächen der wertgebenden Arten der Schneckenfauna (Vorkommende Arten siehe Tab. 141) H20 Lineare Probeflächen der Artengruppe der Fische mit Nummer 5828000 5828000 bzw. Bezeichnung Ausgewählter Gewässerabschnitt # S (Vorkommende Arten siehe Tab. 116) # Swk R14 Flächige Fauna-Probeflächen mit Nummer # R14 # # S / # 5827500 # 5827500 (Vorkommende Arten siehe Tab. 113) Amphibien(Vorkommende Arten siehe Tab. 111) Heuschrecken(Vorkommende Arten siehe Tab. 122) Libellen(Vorkommende Arten siehe Tab. 120) Makrozoobenthos(Vorkommende Arten siehe Tab. 137) # Mb # MeAt # S Reptilien H21 # Gr # S Wh # 5827000 4427500 4428000 5827000 4428500 4429000 4429500 4430000 4430500 G68/11 60/72
Unsere Zielsetzung in der dritten Antragsphase des SPPs besteht darin, den Transport von Methan, Wasserstoff und 3-Helium in den Plumes zu bestimmen, die den hydrothermalen Austrittstellen am Logatchev-Feld (Mittelatlantischer Rücken) zugeordnet werden. Wir (IFM-GEOMAR und IOW) beabsichtigen Tow-yo CTD Untersuchungen dieser gelösten Gase innerhalb einer Distanz von wenigen Kilometern zu diesen hydrothermalen Austrittstellen vorzunehmen. Die hierbei gewonnen Informationen werden mit Langzeit-Strömungsmessungen verknüpft, die von den Herren Fischer und Visbek (IFM-GEOMAR) durchgeführt werden. Die genannten Tow-yo CTD Untersuchungen werden zu Beginn und Ende der Langzeit-Strömungsmessungen erfolgen, d.h. auf der F/S MERIAN Fahrt 06/2 und 10/3. Diese Beprobungsstrategie ermöglicht es, die Ergebnisse der Kurzzeitaufnahmen aus der Ermittlung der Gasverteilung mit denen der Zeitreihenaufzeichnungen der Stömungsmessungen zu verknüpfen. Des Weiteren werden über eine Strecke von 100 km mit dem CTD-Rosettensystem Wasserproben entlang der Rückenachse genommen, welche an der Bruchzone bei 15 Grad 20N einsetzt. Durch diese Untersuchung soll das Inventar dieser Gase in diesem Rückensegment abgeschätzt werden. Methan und Wasserstoff werden bereits während der beiden Expeditionen an Bord gemessen. Die Heliumisotopen-Analysen werden jeweils nach den Expeditionen an der Universität Bremen durchgeführt. Ein weiteres in Beziehung stehendes Ziel besteht in der Konzentrationsbestimmung des gelösten Methans und Wasserstoffs in Fluiden, die an den hydrothermalen Austrittsstellen während der Expeditionen genommen werden. Über diese Ziele hinaus werden wir mit M. Perner an kinetischen Inkubationsexperimenten arbeiten, um die Raten der Wasserstoffzehrung in Fluiden zu bestimmen, die sich aus der mikrobiellen Aktivität in hydrothermalen Lösungen ableitet.
Herstellung von hochreinem CF4 nach der Reaktionsgleichung CH4 + 2Cl2 + 2F2 -> CF4 + 4HCl (grobe Schätzung von Wolfgang Jenseit, Öko-Institut, zum Ablauf) Hauptinput: Erdgas (nach Wolfgang Jenseit 1:1 angesetzt für Methan (CH4)) Ausbeute: 100% (Schätzung von Wolfgang Jenseit) Nutzungsgrad = MG(CF4)/MG(CH4) = 550% Chlorbedarf = 2MG(Cl2)/MG(CF4) = 1,61 t/t output. Fluorbedarf = 2MG(F2)/MG(CF4) = 0,86 t/t output. Nähere Daten zur Erzielung der hohen Reinheit nicht verfügbar, Datensatz muss vervollständigt werden. MG = Molares Gewicht Auslastung: 5000h/a Brenn-/Einsatzstoff: Brennstoffe-fossil-Gase gesicherte Leistung: 100% Jahr: 2005 Lebensdauer: 20a Leistung: 1t/h Nutzungsgrad: 550% Produkt: Grundstoffe-Chemie
| Origin | Count |
|---|---|
| Bund | 50 |
| Land | 3 |
| Type | Count |
|---|---|
| Chemische Verbindung | 2 |
| Förderprogramm | 21 |
| Messwerte | 1 |
| Text | 28 |
| unbekannt | 1 |
| License | Count |
|---|---|
| geschlossen | 4 |
| offen | 22 |
| unbekannt | 27 |
| Language | Count |
|---|---|
| Deutsch | 52 |
| Englisch | 2 |
| Resource type | Count |
|---|---|
| Archiv | 28 |
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| Topic | Count |
|---|---|
| Boden | 51 |
| Lebewesen & Lebensräume | 52 |
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